 |
RSS-ленты |
|
|||||
| Выпуск 10, 2024 |
|
||||||
|
|
|
||||||
Указатель PACS
85.40.Hp Lithography, masks and pattern transfer
-
Ю.В. Гуляев, Ю.Л. Копылов «Технология СБИС: основы и применения» УФН 156 552–553 (1988)
85.40.Hp, 01.30.Vv, 85.40.Bh, 85.40.Qx ()
|
© Успехи физических наук, 1918–2024 Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение |