Широкополосные интегрально-оптические модуляторы являются ключевыми элементами современных оптических информационных систем. Рассмотрены три основные материальные технологические платформы для их изготовления: ниобат лития, полупроводники A₃B₅ и кремний. Анализируется достигнутый прогресс в создании интегрально-оптических модуляторов и даётся сопоставление полученных для разных материалов основных параметров модуляторов с требованиями практических применений. Обсуждаются направления дальнейшего развития технологии рассматриваемых модуляторов применительно к новым задачам в оптических информационных системах.

Ключевые слова: электрооптический эффект, сверхвысокочастотные интегрально-оптические модуляторы PACS: 42.79.−e, 42.79.Hp, 78.20.Ls (все) DOI: 10.3367/UFNr.2020.11.038871 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2021/7/d/ 000702491600004 2-s2.0-85116881680 2021PhyU...64..722P Цитата: Петров В М, Агрузов П М, Лебедев В В, Ильичев И В, Шамрай А В "Широкополосные интегрально-оптические модуляторы: достижения и перспективы развития" УФН 191 760–780 (2021) BibTexBibNote ® (generic) BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks Русский English TY JOUR TI Широкополосные интегрально-оптические модуляторы: достижения и перспективы развития AU Петров, В. М. AU Агрузов, П. М. AU Лебедев, В. В. AU Ильичев, И. В. AU Шамрай, А. В. PB Успехи физических наук PY 2021 JO Успехи физических наук JF Успехи физических наук JA Усп. физ. наук VL 191 IS 7 SP 760-780 UR https://ufn.ru/ru/articles/2021/7/d/ ER https://doi.org/10.3367/UFNr.2020.11.038871 Поступила: 20 мая 2020, доработана: 16 ноября 2020, одобрена в печать: 18 ноября 2020 English citation: Petrov V M, Agruzov P M, Lebedev V V, Il’ichev I V, Shamray A V “Broadband integrated optical modulators: achievements and prospects” Phys. Usp. 64 722–739 (2021); DOI: 10.3367/UFNe.2020.11.038871