Выпуски

 / 

1946

 / 

Февраль

  

Обзоры актуальных проблем


Катодное распыление

Настоящий обзор преследует цель дать представление о современном состоянии вопроса о катодном распылении как с точки зрения установленных к настоящему времени экспериментальных данных, так и природы этого явления. Результаты более старых исследований, более подробное изложение некоторых экспериментальных данных, техники к. р. и т. д. можно найти в обзорах, которые по этому вопросу были опубликованы в прошлом. При этом экспериментальные исследования к. р. можно разделить на две группы: исследования, произведённые с быстрыми ионами, ставившие своей целью изучение основных закономерностей этого явления, и исследования, произведённые с медленными ионами, вблизи так называемого критического потенциала распыления v0, ставившие своей целью изучение условий, при которых это явление, вообще, может возникнуть; поэтому эти два случая следует рассмотреть отдельно.

Поправки к статье см. ’Поправки к статье Н. Д. Моргулис КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ’ (Успехи физических наук, т. 31, вып. 2, стр. 288, 1947.)

Текст pdf (1,2 Мб)
DOI: 10.3367/UFNr.0028.194602c.0202
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1946/2/c/
Цитата: Моргулис Н Д "Катодное распыление" УФН 28 202–224 (1946)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks
© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение