|
||||||||||||||||||
Катодное распылениеНастоящий обзор преследует цель дать представление о современном состоянии вопроса о катодном распылении как с точки зрения установленных к настоящему времени экспериментальных данных, так и природы этого явления. Результаты более старых исследований, более подробное изложение некоторых экспериментальных данных, техники к. р. и т. д. можно найти в обзорах, которые по этому вопросу были опубликованы в прошлом. При этом экспериментальные исследования к. р. можно разделить на две группы: исследования, произведённые с быстрыми ионами, ставившие своей целью изучение основных закономерностей этого явления, и исследования, произведённые с медленными ионами, вблизи так называемого критического потенциала распыления v0, ставившие своей целью изучение условий, при которых это явление, вообще, может возникнуть; поэтому эти два случая следует рассмотреть отдельно. Поправки к статье см. ’Поправки к статье Н. Д. Моргулис КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ’ (Успехи физических наук, т. 31, вып. 2, стр. 288, 1947.)
|
||||||||||||||||||
|