Cтатьи, принятые к публикации
Приборы и методы исследований

Электронно-лучевая инспекция полупроводниковых пластин

С.Л. Андрианов^а, Е.Ю. Грачев^а, б, А.А. Трубицын^а, б
^аАО Нанотроника, Панфиловский просп. 10, помещ. 571, Москва, Зеленоград, 124460, Российская Федерация
^бРязанский государственный радиотехнический университет имени В.Ф. Уткина, ул. Гагарина 59/1, Рязань, 390005, Российская Федерация

Приведен обзор технических средств инспекции дефектов, образующихся при постановке технологий и производстве современных интегральных схем. Продемонстрированы причины перехода от оптических методов диагностики к электронно-оптической инспекции. Представлена краткая методика работы инспекционных установок, дано описание ключевых компонентов, рассмотрены основные элементы электронно-оптической колонны инспекционных установок и их влияние на конечные технические характеристики установок. Рассмотрены аспекты модернизации электронно-оптической системы растрового электронного микроскопа для нужд инспекции дефектов интегральных схем.

Ключевые слова: микроэлектроника, инспекция интегральных схем, растровая электронная микроскопия, пучки заряженных частиц
PACS: 07.78.+s, 07.50.−e (все)
DOI: 10.3367/UFNr.2026.09.040192
Цитата: Андрианов С Л, Грачев Е Ю, Трубицын А А "Электронно-лучевая инспекция полупроводниковых пластин" УФН, принята к публикации

поступила: 19 мая 2026, доработана: 8 сентября 2026, одобрена в печать: 14 сентября 2026

English citation: Andrianov S L, Grachev E Yu, Trubitsyn A A “Electron beam inspection of semiconductor wafers” Phys. Usp., accepted; DOI: 10.3367/UFNe.2026.09.040192

Список литературы (65) Похожие статьи (10) ↓

В.А. Ванке «Поперечные волны электронного потока в микроволновой электронике» УФН 175 957–978 (2005)
А.Д. Погребняк, А.Г. Пономарев и др. «Применение микро- и нанозондов для анализа малоразмерных 3D материалов, наносистем и нанообъектов» УФН 182 287–321 (2012)
В.М. Петров, П.М. Агрузов и др. «Широкополосные интегрально-оптические модуляторы: достижения и перспективы развития» УФН 191 760–780 (2021)
А.Е. Лукьянов, Г.В. Спивак, Р.С. Гвоздовер «Зеркальная электронная микроскопия» УФН 110 623–668 (1973)
В.И. Милютин «Интерференционная и фазовая электронная микроскопия» УФН 74 553–566 (1961)
Н.Н. Рубцова, А.А. Ковалёв и др. «Применение полупроводниковых квантовых ям в фемтосекундных лазерах» УФН, принята к публикации
В.П. Пономаренко «Теллурид кадмия-ртути и новое покoление приборов инфракрасной фотоэлектроники» УФН 173 649–665 (2003)
В.В. Бусарев, В.В. Прокофьева-Михайловская, В.В. Бочков «Спектральный и спектрально-частотный методы исследования безатмосферных тел Солнечной системы» УФН 177 663–675 (2007)
Я.С. Гринберг, Ю.А. Пашкин, Е.В. Ильичёв «Наномеханические резонаторы» УФН 182 407–436 (2012)
А.В. Елецкий, К.Л. Дао «Суперконденсаторы на основе графена» УФН 195 635–657 (2025)

Список формируется автоматически.

Cтатьи, принятые к публикации

Электронно-лучевая инспекция полупроводниковых пластин