Приведен обзор технических средств инспекции дефектов, образующихся при постановке технологий и производстве современных интегральных схем. Продемонстрированы причины перехода от оптических методов диагностики к электронно-оптической инспекции. Представлена краткая методика работы инспекционных установок, дано описание ключевых компонентов, рассмотрены основные элементы электронно-оптической колонны инспекционных установок и их влияние на конечные технические характеристики установок. Рассмотрены аспекты модернизации электронно-оптической системы растрового электронного микроскопа для нужд инспекции дефектов интегральных схем.