Cтатьи, принятые к публикации

Приборы и методы исследований


Новые подходы к трехмерной реконструкции дислокаций в кремнии по данным рентгеновской топо-томографии

 а,  а,  а,  а,  а,  а,  а, б,  в
а Федеральный научно-исследовательский центр «Кристаллография и фотоника» РАН, Ленинский просп. 59, Москва, 119333, Российская Федерация
б Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ», Каширское шоссе 31, Москва, 115409, Российская Федерация
в Институт физики твердого тела РАН, ул. Академика Осипьяна 2, Черноголовка, Московская обл., 142432, Российская Федерация

В работе представлены результаты обработки дифракционных изображений дислокационных полупетель в монокристалле кремния Si(111), полученных методом рентгеновской топо-томографии (РТТ) на Европейском источнике синхротронного излучения (ESRF). Предложен алгоритм предварительной обработки двумерных изображений методами автоматической фильтрации шумов, а также проведена разработка критериев достоверности решения, что позволило значительно улучшить качество трехмерной реконструкции пространственного распределения исследуемых дефектов. Проведено сравнение экспериментальных изображений с численно смоделированными с использованием решения уравнений Такаги. Такой подход позволил не только определить геометрию дефектов, но и получить информацию о векторе Бюргерса.

Ключевые слова: синхротронное излучение, топо-томография, дислокационные полупетли, монокристалл кремния, уравнения Такаги
PACS: 07.85.−m, 61.72.−y, 61.72.Bb (все)
DOI: 10.3367/UFNr.2022.05.039199
Цитата: Золотов Д А, Асадчиков В Е, Бузмаков А В, Волков В В, Дьячкова И Г, Конарев П В, Григорьев В А, Суворов Э В "Новые подходы к трехмерной реконструкции дислокаций в кремнии по данным рентгеновской топо-томографии" УФН, принята к публикации

Поступила: 28 марта 2022, доработана: 25 апреля 2022, 28 мая 2022

English citation: Zolotov D A, Asadchikov V E, Buzmakov A V, Volkov V V, D’yachkova I G, Konarev P V, Grigorev V A, Suvorov E V “New approaches to three-dimensional reconstruction of dislocations in silicon by x-ray topo-tomographyPhys. Usp., accepted; DOI: 10.3367/UFNe.2022.05.039199

© Успехи физических наук, 1918–2022
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение