Cтатьи, принятые к публикации

Приборы и методы исследований


Подходы к определению кривизны пластин по рельефу их поверхности

 а,  б,  а
а Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники", пл. Шокина, д. 1, Зеленоград, Москва, 124498, Российская Федерация
б Институт математических проблем биологии РАН – филиал Института прикладной математики им. М.В. Келдыша РАН, ул. проф. Виткевича, д. 1, Пущино, Московская обл., 142290, Российская Федерация

Рассмотрены особенности анализа кривизны пластин с учетом неоднородности их рельефа для количественной оценки и локализации неровностей или для последующих расчетов механических напряжений. Проанализированы три подхода к расчету кривизны поверхности по полученной цифровой модели рельефа. Первый – основан на анализе профилей поверхности пластины с использованием полиномиальной аппроксимации; расчете кривизны и радиуса кривизны по кривизне кривой; механические напряжения рассчитываются по методу Стоуни. Второй — использование для анализа вторых частных производных функции высоты в декартовой или цилиндрической системах координат. Третий — рассмотрение рельефа пластины целиком как двумерной матрицы высот и использование математического аппарата дифференциальной геометрии и опыта геоморфометрии. Показана реализация данных подходов при исследовании пластин подобных сегменту сферы формы и пластин сложной формы.

Ключевые слова: поверхность, рельеф, кривизна, радиус кривизны, прогиб, механические напряжения, деформация, формула Стоуни, кремниевая пластина, оптическая профилометрия, дефектность, геоморфометрия, цифровая модель рельефа, ЦМР
PACS: 68.35.Gy
DOI: 10.3367/UFNr.2021.10.039076
Цитата: Дедкова А А, Флоринский И В, Дюжев Н А "Подходы к определению кривизны пластин по рельефу их поверхности" УФН, принята к публикации

Поступила: 29 марта 2021, доработана: 5 августа 2021, 6 октября 2021

English citation: Dedkova A A, Florinsky I V, Djuzhev N A “Approaches to determining curvature of wafers by their topographyPhys. Usp., accepted; DOI: 10.3367/UFNe.2021.10.039076

© Успехи физических наук, 1918–2021
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение