Cтатьи, принятые к публикации

Приборы и методы исследований


Спектроскопия малых газовых составляющих неравновесной низкотемпературной плазмы


Физический институт им. П.Н. Лебедева РАН, Ленинский проспект 53, Москва, 119991, Российская Федерация

Обсуждаются состояние и перспективы развития методов количественной оптической спектроскопии для анализа состава малых химически активных составляющих неравновесной плазмы. Возможности методов рассматриваются в их сочетании с условиями применимости как для фундаментальных исследований в области физики и химии плазмы, так и контроля за проведением технологических процессов в реакторах в интересах энергетики, микро- и нано-электроники, медицины, создания оптических покрытий, генерации активных радикалов и возбужденных частиц.

Ключевые слова: спектроскопия, плазма, равновесие
PACS: 29.30.−h
DOI: 10.3367/UFNr.2021.07.039026
Цитата: Очкин В Н "Спектроскопия малых газовых составляющих неравновесной низкотемпературной плазмы" УФН, принята к публикации

Поступила: 4 июня 2021, доработана: 22 июля 2021, 23 июля 2021

English citation: Ochkin V N “Spectroscopy of small gas components of non-equilibrium low-temperature plasmaPhys. Usp., accepted; DOI: 10.3367/UFNe.2021.07.039026

© Успехи физических наук, 1918–2021
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение