Обсуждаются состояние и перспективы развития методов количественной оптической спектроскопии для анализа состава малых химически активных составляющих неравновесной плазмы. Возможности методов рассматриваются в их сочетании с условиями применимости как для фундаментальных исследований в области физики и химии плазмы, так и контроля за проведением технологических процессов в реакторах в интересах энергетики, микро- и нано-электроники, медицины, создания оптических покрытий, генерации активных радикалов и возбужденных частиц.