Спектроскопия малых газовых составляющих неравновесной низкотемпературной плазмы
В.Н. Очкин
Физический институт им. П.Н. Лебедева РАН, Ленинский проспект 53, Москва, 119991, Российская Федерация
Обсуждаются состояние и перспективы развития методов количественной оптической спектроскопии для анализа состава малых химически активных составляющих неравновесной плазмы. Возможности методов рассматриваются в их сочетании с условиями применимости как для фундаментальных исследований в области физики и химии плазмы, так и контроля за проведением технологических процессов в реакторах в интересах энергетики, микро- и нано-электроники, медицины, создания оптических покрытий, генерации активных радикалов и возбужденных частиц.
|