Cтатьи, принятые к публикации

Конференции и симпозиумы


Рентгеновская оптика дифракционного качества: технология, метрология, применения

, , , , ,
Институт физики микроструктур РАН, ул. Ульянова 46, Нижний Новгород, 603950, Российская Федерация

Прогресс в технологии роста многослойных интерференционных зеркал нормального падения позволяет перенести традиционные для оптики методы микроскопии, астрономии и литографии в вакуумный ультрафиолетовый (ВУФ, длины волн 10-200 нм) и в длинноволновую часть мягкого рентгеновского (МР, длины волн 2-10 нм) диапазоны длин волн. При этом благодаря короткой длине волны и особенностям взаимодействия с веществом, излучение этого диапазона предоставляет уникальные возможности в нанофизике, нанотехнологии и нанодиагностике вещества. Для использования потенциала короткой длины волны в полном объеме необходима оптика дифракционного качества. По сравнению с традиционной оптикой ее точность должна быть как минимум на 2 порядка выше. В статье дается анализ реальных возможностей традиционных методов изготовления и изучения прецизионных оптических элементов, сообщается о развиваемых в ИФМ РАН методах изготовления и характеризации оптики дифракционного качества для ВУФ и МР диапазонов. Приводятся примеры применения данной оптики для задач внеземной астрономии, рентгеновской микроскопии и литографии

Ключевые слова: многослойное рентгеновское зеркало, оптика дифракционного качества, интерферометрия, асферическая поверхность, ионное травление, шероховатость, рентгеновская микроскопия, астрономия и литография
PACS: 06.30.−k
DOI: 10.3367/UFNr.2019.05.038601
Цитата: Чхало Н И, Малышев И В, Пестов А Е, Полковников В Н, Салащенко Н Н, Торопов М Н "Рентгеновская оптика дифракционного качества: технология, метрология, применения" УФН, принята к публикации

22 мая 2019

English citation: Chkhalo N I, Malyshev I V, Pestov A E, Polkovnikov V N, Salashchenko N N, Toropov M N “Diffraction quality X-ray optics: technology, metrology, applicationsPhys. Usp., accepted; DOI: 10.3367/UFNe.2019.05.038601

© Успехи физических наук, 1918–2019
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение