Cтатьи, принятые к публикации

Приборы и методы исследований


Методы 3D печати микро- и наноструктур

,
Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН, просп. Лаврентьева 13, Новосибирск, 630090, Российская Федерация

Представлены физические и физико-химические основы трехмерной (3D) микро- и нанопечати. 3D печать или аддитивные технологии — это процесс формирования структур и приборов посредством послойного нанесения материала в соответствии с объемной цифровой моделью. Обзор ограничен рассмотрением методов и результатов в микро и нанообласти, которая востребована в электронике, фотонике и бионике. Особое внимание уделено методам, которые позволяют формировать структуры с размерами менее 100 нм: стереолитографии, основанной на одно- и двухфотонной полимеризации, электрогидродинамической струйной печати и прямому лазерному переносу. Рассмотрены преимущества и недостатки, а также перспективы развития и практического применения методов 3D печати.

Ключевые слова: 3D печать, аддитивные технологии, 3D наноструктуры, стереолитография, двухфотонная полимеризация, струйная печать, электрогидродинамическая печать, прямой лазерный перенос
PACS: 32.80.Rm, 42.82.Cr, 61.46.+w, 68.65.−k, 81.20.−n (все)
DOI: 10.3367/UFNr.2017.11.038239
Цитата: Фрицлер К Б, Принц В Я "Методы 3D печати микро- и наноструктур" УФН, принята к публикации

Поступила: 5 июня 2017, 10 ноября 2017

English citation: Fritzler K B, Prinz V Ya “3D printing of micro- and nanostructuresPhys. Usp., accepted; DOI: 10.3367/UFNe.2017.11.038239

© Успехи физических наук, 1918–2018
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение