Выпуски

 / 

2024

 / 

Октябрь

  

Обзоры актуальных проблем


О торможении и рассеянии в веществе атомов с энергиями порядка килоэлектронвольт

 ,  , § 
Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Политехническая ул. 26, Санкт-Петербург, 194021, Российская Федерация

Обсуждается существенное уточнение представлений о торможении и рассеянии атомных частиц с энергиями менее 100 кэВ в веществе, возникшее при сопоставлении имеющихся в настоящее время экспериментальных данных с результатами компьютерного моделирования: проблема выбора потенциала для описания рассеяния частиц, уточнение представлений о ядерных и электронных тормозных способностях. Рассматривается решающая роль в формировании электронных потерь механизма, связанного с возбуждением автоионизационных состояний при перестройке молекулярных оболочек в процессе столкновения. Установлен существенный вклад эмиссии быстрых электронов в сечение электронных потерь. Анализируется влияние параметров соударения на процессы рассеяния, распыления и каналирования.

Текст pdf (937 Кб)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.2024.03.039666
Ключевые слова: атомные столкновения, потенциал взаимодействия атомов, ядерные и электронные тормозные потери, возбуждение автоионизационных состояний, ионизация атомов, эмиссия электронов, рассеяние, распыление, каналирование
PACS: 32.80.Zb, 34.20.−b, 34.35.+a, 34.50.−s, 34.50.Bw, 34.80.Dp, 52.20.Hv, 61.85.+p (все)
DOI: 10.3367/UFNr.2024.03.039666
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2024/10/c/
Цитата: Бабенко П Ю, Зиновьев А Н, Шергин А П "О торможении и рассеянии в веществе атомов с энергиями порядка килоэлектронвольт" УФН 194 1059–1081 (2024)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Поступила: 15 ноября 2023, доработана: 7 марта 2024, 20 марта 2024

English citation: Babenko P Yu, Zinoviev A N, Shergin A P “Stopping and scattering of keV-energy atoms in matterPhys. Usp. 67 1000–1021 (2024); DOI: 10.3367/UFNe.2024.03.039666

Список литературы (176) ↓ Похожие статьи (20)

  1. Авакян С В и др Сечения процессов ионизации и возбуждения УФ излучения при столкновениях электронов, ионов и фотонов с атомами и молекулами атмосферных газов (СПб.: ГОИ, 2000); Avakyan S V et al Collision Processes and Excitation of UV Emission from Planetary Atmospheric Gases (New York: Gordon and Breach, 1998)
  2. Ryssel H, Ruge I Ion Implantation (Chichester: Wiley, 1986); Пер. на русск. яз., Риссел Х, Руге И Ионная имплантация (М.: Наука, 1983)
  3. Behrisch R (Ed.) Sputtering by Particle Bombardmen Vol. 1 Physical Sputtering of Single-Element Solids (Topics in Applied Physics) Vol. 47 (Berlin: Springer-Verlag, 1981); Пер. на русск. яз., Бериш Р (Ред.) Распыление твердых тел ионной бомбардировкой Вып. 1 Физическое распыление одноэлементных твердых тел (М.: Мир, 1984)
  4. Behrisch R (Ed.) Sputtering by Particle Bombardmen Vol. 2 Sputtering of Alloys and Compounds, Electron and Neutron Sputtering, Surface Topography (Topics in Applied Physics) Vol. 52 (Berlin: Springer-Verlag, 1983); Пер. на русск. яз., Бериш Р (Ред.) Распыление твердых тел ионной бомбардировкой Вып. 2 Распыление сплавов и соединений, распыление под действием электронов и нейтронов, рельеф поверхности (М.: Мир, 1986)
  5. Behrisch R (Ed.) Sputtering by Particle Bombardmen Vol. 3 Characteristics of Sputtered Particles, Technical Applications (Topics in Applied Physics) Vol. 64 (Berlin: Springer-Verlag, 1991); Пер. на русск. яз., Бериш Р (Ред.) Распыление под действием бомбардировки частицами Вып. 3 Характеристики распыленных частиц, применения в технике (М.: Мир, 1998)
  6. Behrisch R, Eckstein W (Eds) Sputtering by Particle Bombardment: Experiments and Computer Calculations from Threshold to MeV Energies (Topics in Applied Physics) Vol. 110 (Berlin: Springer, 2007)
  7. Sigmund P Phys. Rev. 184 383 (1969)
  8. Машкова Е С, Молчанов В А Рассеяние ионов средних энергий поверхностями твердых тел (М.: Атомиздат, 1980); Пер. на англ. яз., Mashkova E S, Molchanov V A Medium-energy Ion Reflection from Solids (Amsterdam: North-Holland, 1985)
  9. Парилис Э С и др Теория рассеяния атомов средних энергий поверхностью твердого тела (Ташкент: ФАН, 1987)
  10. Курнаев В А, Машкова Е С, Молчанов В А Отражение легких ионов от поверхности твердого тела (М.: Энергоатомиздат, 1985)
  11. Готт Ю В Взаимодействие частиц с веществом в плазменных исследованиях (М.: Атомиздат, 1978)
  12. Готт Ю В Взаимодействие медленных частиц с веществом и диагностика плазмы (М.: Атомиздат, 1973)
  13. Ma B M Nuclear Reactor Materials and Applications (New York: Van Nostrand Reinhold Co., 1983); Пер. на русск. яз., Ма Б М Материалы ядерных энергетических установок (М.: Энергоатомиздат, 1987)
  14. Hoffelner W Materials for Nuclear Plants (London: Springer, 2013)
  15. Клёнов Г И, Хорошков В С УФН 186 891 (2016); Klenov G I, Khoroshkov V S Phys. Usp. 59 807 (2016)
  16. Sigmund P Particle Penetration and Radiation Effects (London: Springer, 2014)
  17. Плешивцев Н В, Бажин А И Физика воздействия ионных пучков на материалы (М.: Вузовская книга, 1998)
  18. Eckstein W Computer Simulation of Ion-Solid Interactions (Berlin: Springer, 1991); Пер. на русск. яз., Экштайн В Компьютерное моделирование взаимодействия частиц с поверхностью твердого тела (М.: Мир, 1995)
  19. SRIM - The Stopping and Range of Ions in Matter - code, http://srim.org/
  20. Lindhard J, Scharff M Phys. Rev. 124 128 (1961)
  21. Robinson M T, Oen O S Phys. Rev. 132 2385 (1963)
  22. Mutzke A et al SDTrimSP Version 6.00. IPP 2019-02 (Garching: IPP, 2019)
  23. Biersack J P, Steinbauer E, Bauer P Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 61 77 (1991)
  24. Бабенко П Ю, Зиновьев А Н, Шергин А П Письма в ЖЭТФ 101 940 (2015); Babenko P Yu, Zinoviev A N, Shergin A P JETP Lett. 101 840 (2015)
  25. Бабенко П Ю и др ЖЭТФ 155 612 (2019); Babenko P Yu et al J. Exp. Theor. Phys. 128 523 (2019)
  26. Torrens I M Interatomic Potentials (New York: Academic Press, 1972)
  27. Robinson M T, Torrens I M Phys. Rev. B 9 5008 (1974)
  28. Gaydaenko V I, Nikulin V K Chem. Phys. Lett. 7 360 (1970)
  29. Ziegler J F, Biersack J P, Littmark U The Stopping and Range of Ions in Solids Vol. 1 (New York: Pergamon Press, 1983)
  30. Connor D J O, Biersack J E Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 15 14 (1986)
  31. Lane G H, Everhart E Phys. Rev. 120 2064 (1960)
  32. Афросимов В В, Гордеев Ю С, Зиновьев А Н ЖЭТФ 66 1933 (1974); Afrosimov V V, Gordeev Yu S, Zinoviev A N Sov. Phys. JETP 39 950 (1974)
  33. Фирсов О Б ЖЭТФ 24 279 (1953)
  34. Фирсов О Б ЖЭТФ 33 696 (1957); Firsov O B Sov. Phys. JETP 6 534 (1958)
  35. Moliere G Z. Naturforsch. A 2 133 (1949)
  36. Jensen H Z. Phys. B 77 722 (1932)
  37. Wilson W D, Haggmark L G, Biersack J P Phys. Rev. B 15 2458 (1977)
  38. Zinoviev A N Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 406 465 (2017)
  39. Зиновьев А Н Поверхность. Рентген. синхротр. и нейтрон. исслед. 6 43 (2018); Zinoviev A N J. Surf. Invest. X-Ray, Synchrotron Neutron Tech. 12 554 (2018)
  40. Lu C C et al At. Data Nucl. Data Tables 3 1 (1971)
  41. Зиновьев А Н ЖТФ 78 15 (2008); Zinoviev A N Tech. Phys. 53 13 (2008)
  42. Norlund K, Runeberg N, Sundholm D Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 132 45 (1997)
  43. Zinoviev A N, Norlund K Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 406 511 (2017)
  44. Meluzova D S et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 460 4 (2019)
  45. Luo Y-R Comprehensive Handbook of Chemical Bond Energies (Boca Raton, FL: CRC Press, 2007)
  46. Zinoviev A N, Babenko P Yu, Nordlund K Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 508 10 (2021)
  47. Bjorkas C et al J. Phys. Condens. Matter 21 445002 (2009)
  48. Прокофьев М В, Светухин В В, Тихончев М Ю Изв. Самарского НЦ РАН 15 1024 (2013)
  49. Granberg F, Byggmästar J, Nordlund K J. Nucl. Mater. 556 153158 (2021)
  50. Bjorkas C, Nordlund K J. Nucl. Mater. 439 174 (2013)
  51. Lyashenko A et al J. Nucl. Mater. 542 152465 (2020)
  52. Tersoff J Phys. Rev. B 37 6991 (1988)
  53. Rapaport D С The Art of Molecular Dynamics Simulation (Cambridge: Cambridge Univ. Press, 2004)
  54. Lindhard J, Nielsen V, Scharff M Mat.-Fys. Medd. Dan. Vid. Selsk. 36 (10) 1 (1968)
  55. Winterbon K B Rad. Eff. 13 215 (1972)
  56. Littmark U, Ziegler J F Phys. Rev. A 23 64 (1981)
  57. Бабенко П Ю, Зиновьев А Н ЖТФ 93 1272 (2023)
  58. Hartung H et al Phys. Lett. A 119 457 (1987)
  59. Hartung H et al J. Phys. B 18 L433 (1985)
  60. Gartker K, Hehl K Phys. Status Solidi B 94 231 (1979)
  61. Loftager P et al Phys. Rev. A 20 1443 (1979)
  62. Loftager P, Claussen G ICPEAC VI, Cambridge, USA, 1969 (1969) p. 518
  63. Bruckner B et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 470 21 (2020)
  64. Shulga V I Rad. Eff. 100 71 (1986)
  65. Бабенко П Ю и др Письма в ЖТФ 48 10 (2022); Babenko P Yu et al Tech. Phys. Lett. 48 50 (2022)
  66. Verbeek H, Eckstein W, Bhattacharya R S J. Appl. Phys. 51 1783 (1980)
  67. Бабенко П Ю, Зиновьев А Н, Тенсин Д С ЖТФ 92 1643 (2022); Babenko P Yu, Zinoviev A N, Tensin D S Tech. Phys. 67 1416 (2022)
  68. Fama M et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 164 241 (2000)
  69. Archubi C et al Phys. Status Solidi B 241 2389 (2004)
  70. Бабенко П Ю, Михайлов В С, Зиновьев А Н Письма в ЖЭТФ 117 723 (2023); Babenko P Yu, Mikhailov V S, Zinoviev A N JETP Lett. 117 725 (2023)
  71. Дедков Г В УФН 165 919 (1995); Dedkov G V Phys. Usp. 38 877 (1995)
  72. Saitoh K Rad. Eff. 82 205 (1984)
  73. Kittel C Introduction to Solid State Physics 8th ed. (New York: John Wiley and Sons, 2005)
  74. Ландау Л Д, Лифшиц Е М Квантовая механика (нерелятивистская теория) (М.: Физматлит, 2004); Пер. на англ. яз., Landau L D, Lifshitz E M Quantum Mechanics: Non-Relativistic Theory (Oxford: Pergamon Press, 1977)
  75. Mott N F, Massey H S W Theory of Atomic Collisions (Oxford: Oxford Univ. Press, 1965); Пер. на русск. яз., Мотт Н, Месси Г Теория атомных столкновений (М.: Мир, 1969)
  76. Bethe H A Ann. Physik 5 325 (1930)
  77. Bloch F Ann. Physik 16 285 (1933)
  78. Fermi E, Teller E Phys. Rev. 72 399 (1947)
  79. Andersen H H, Ziegler J F Hydrogen Stopping Powers and Ranges in All Elements. The Stopping and Range of Ions in Matter Vol. 3 (New York: Pergamon Press, 1977)
  80. Fink D et al Nucl. Instrum. Meth. 218 171 (1983)
  81. Fink D Nucl. Instrum. Meth. 218 817 (1983)
  82. Фирсов О Б ЖЭТФ 36 1517 (1959); Firsov O B Sov. Phys. JETP 9 1076 (1959)
  83. Oen O S, Robinson M T Nucl. Instrum. Meth. 132 647 (1976)
  84. Ахиезер И А, Давыдов Л Н УФН 129 239 (1979); Akhiezer I A, Davydov L N Sov. Phys. Usp. 22 804 (1979)
  85. Sigmund P Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 406 391 (2017)
  86. Montanari C C, Miraglia J E Phys. Rev. A 96 012707 (2017)
  87. Зиновьев А Н, Бабенко П Ю, Мелузова Д С, Шергин А П Письма в ЖЭТФ 108 666 (2018); Zinoviev A N, Babenko P Yu, Meluzova D S, Shergin A P JETP Lett. 108 633 (2018)
  88. Zinoviev A N, Babenko P Yu, Meluzova D S, Shergin A P Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 467 140 (2020)
  89. Duvenbeck A et al Phys. Rev. B 77 245444 (2008)
  90. Fuls E N et al Phys. Rev. 107 704 (1957)
  91. Kessel Q C, Everhart E Phys. Rev. 146 16 (1966)
  92. Bierman D J, Turkenburg W C Physica 67 533 (1973)
  93. Morgan G H, Everhart E Phys. Rev. 128 667 (1962)
  94. Kessel Q C, Rose P H, Grodzins L Phys. Rev. Lett. 22 1031 (1969)
  95. Зиновьев А Н, Бабенко П Ю, Шергин А П ЖЭТФ 163 744 (2023); Zinoviev A N, Babenko P Yu, Shergin A P J. Exp. Theor. Phys. 163 662 (2023)
  96. Amme R C, Haugsjaa P O Phys. Rev. 177 230 (1969)
  97. Gilbody H B, Hasted J B Proc. R. Soc. London A 238 334 (1957)
  98. Cacak R K, Kessel Q C, Rudd M E Phys. Rev. A 2 1327 (1970)
  99. Месхи Г Г "Особенности радиационного и Оже-распада внутренних вакансий, образующихся в атомных столкновениях" Дисс. ... канд. физ.-мат. наук (Ленинград: ФТИ им. А.Ф. Иоффе, 1983)
  100. Echenique P M, Flores F, Ritchie R H Solid State Phys. 43 229 (1990)
  101. Grahmann G, Kalbitzer S Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 132 119 (1976)
  102. Зиновьев А Н, Бабенко П Ю, Шергин А П Поверхность. Рентген. синхротр. и нейтрон. исслед. (12) 64 (2020); Zonoviev A N, Babenko P Yu, Sherin A P J. Surf. Invest. X-Ray, Synchrotron Neutron Tech. 14 1304 (2020)
  103. Babenko P Yu, Zinoviev A N, Shergin A P Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 354 142 (2015)
  104. Briggs J S, Macek J J. Phys. B 5 579 (1972)
  105. Зиновьев А Н, Бабенко П Ю, Шергин А П Письма в ЖЭТФ 114 13 (2021); Zinoviev A N, Babenko P Yu, Shergin A P JETP Lett. 114 18 (2021)
  106. Meyerhof W E, Taulbjerg K Annu. Rev. Nucl. Sci. 27 279 (1977)
  107. Lennard W N, Mitchell I V, Forster J S Phys. Rev. A 18 1949 (1978)
  108. Foster C et al J. Phys. B 9 1943 (1976)
  109. Зиновьев А Н, Овчинников С Ю, Гордеев Ю С Письма в ЖТФ 7 139 (1981); Zinoviev A N, Ovchinnikov S Yu, Gordeev Yu S Sov. Tech. Phys. Lett. 7 139 (1981)
  110. Овчинников С Ю, Соловьев Е А Письма в ЖЭТФ 91 477 (1986); Ovchinnikov S Yu, Solov'ev E A JETP Lett. 64 280 (1986)
  111. Ogurtsov G N et al Phys. Rev. A 53 2391 (1996)
  112. Pieksma M, Ovchinnikov S Yu J. Phys. B 24 2699 (1991)
  113. Stolterfoht N Phys. Rev. A 12 1313 (1975)
  114. Зиновьев А Н, Бабенко П Ю Поверхность. Рентген. синхротр. и нейтрон. исслед. (6) 94 (2021); Zinoviev A N, Babenko P Yu J. Surf. Invest. X-Ray, Synchrotron Neutron Tech. 15 623 (2021)
  115. Zinoviev A N, Babenko P Yu Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 536 82 (2023)
  116. ALADDIN database, https://www-amdis.iaea.org/ALADDIN/
  117. NDS database, https://www-nds.iaea.org/stopping/
  118. Cabrera-Trujillo R et al Phys. Rev. Lett. 84 5300 (2000)
  119. Kirchner T, Horbatsch M, Ludde H J Phys. Rev. A 66 052719 (2002)
  120. Schiwietz G, Grande P L Phys. Rev. A 84 052703 (2011)
  121. Chowdhury M R e al. Phys. Rev. A 102 012819 (2020)
  122. Commisso M et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 256 474 (2007)
  123. Gassert H et al Phys. Rev. Lett. 116 073201 (2016)
  124. Gravielle M S, Miraglia J E Phys. Rev. A 65 022901 (2002)
  125. Hasan A et al Phys. Rev. A 74 032703 (2006)
  126. Kim H-K et al Phys. Rev. A 85 022707 (2012)
  127. McSherry D M et al AIP Conf. Proc. 576 168 (2001)
  128. Schultz D R et al Phys. Rev. A 65 052722 (2002)
  129. Sigmund P, Glazov L G Eur. Phys. J. D 23 211 (2003)
  130. Rudd M E, Toburen L H, Stolterfoht N At. Data Nucl. Data Tables 18 413 (1976)
  131. Rudd M E, Toburen L H, Stolterfoht N At. Data Nucl. Data Tables 23 405 (1979)
  132. Moro M V et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 498 1 (2021)
  133. Mery M et al Rad. Eff. Def. Solids 176 73 (2021)
  134. Fama M et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 193 91 (2002)
  135. Tran T T et al Phys. Rev. A 100 032705 (2019)
  136. Konac G et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 136 159 (1998)
  137. Moller S P et al Phys. Rev. Lett. 88 193201 (2002)
  138. Andersen H H Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 194 217 (2002)
  139. Bruckner B Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 423 82 (2018)
  140. Cantero E D et al Phys. Rev. A 80 032904 (2009)
  141. Valdes J E et al Phys. Rev. A 49 1083 (1994)
  142. Markin S N et al Phys. Rev. B 80 205105 (2009)
  143. Martínez-Tamayo G et al Phys. Rev. A 51 2285 (1995)
  144. Goebl D et al Phys. Rev. A 90 042706 (2014)
  145. Valdés J E et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 73 313 (1993)
  146. Goebl D, Roth D, Bauer P Phys. Rev. A 87 062903 (2013)
  147. Valdés J E et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 164 268 (2000)
  148. Blume R, Eckstein W, Verbeek H Nucl. Instrum. Meth. 168 57 (1980)
  149. Markin S N e al. Phys. Rev. B 78 195122 (2008)
  150. Paul H, Schinner A Phys. Scripta 69 C41 (2004)
  151. Sigmund P, Schinner A Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 410 78 (2017)
  152. Goebl D et al Phys. Rev. A 88 032901 (2013)
  153. Зиновьев А Н, Бабенко П Ю Письма в ЖЭТФ 115 603 (2022); Zinoviev A N, Babenko P Yu JETP Lett. 115 560 (2022)
  154. Zeb M A et al Phys. Rev. Lett. 108 225504 (2012)
  155. Бабенко П Ю, Михайлов В С, Шергин А П, Зиновьев А Н ЖТФ 93 709 (2023); Babenko P Yu, Mikhailov V S, Shergin A P, Zinoviev A N Tech. Phys. 68 662 (2023)
  156. Михайлов В С, Бабенко П Ю, Шергин А П, Зиновьев А Н ЖЭТФ 164 478 (2023); Mikhailov V S, Babenko P Yu, Shergin A P, Zinoviev A N J. Exp. Theor. Phys. 137 413 (2023)
  157. Clark R E H Atomic and Plasma-Material Interaction Data for Fusion Vol. 7, Pt. B (Vienna: IAEA, 2001)
  158. Falcone G, Gullo F Phys. Lett. A 125 432 (1987)
  159. Фальконе Д УФН 162 71 (1992); Falcone G Rivista Nuovo Cimento 13 1 (1990)
  160. Eckstein W, Preuss R J. Nucl. Mater. 320 209 (2003)
  161. Машкова Е С, Молчанов В А Применение рассеяния ионов для анализа твердых тел (М.: Энергоатомиздат, 1995)
  162. Михайлов В С, Бабенко П Ю, Шергин А П, Зиновьев А Н ЖТФ 93 1533 (2023)
  163. Eckstein W "Calculated sputtering, reflection and range values" IPP-9-132 (Garching: IPP, 2002)
  164. Eckstein W "Reflection (Backscattering)" IPP-17-12 (Garching: IPP, 2009)
  165. Мелузова Д С, Бабенко П Ю, Шергин А П, Зиновьев А Н Поверхность. Рентген. синхротр. и нейтрон. исслед. (7) 98 (2020); Meluzova D S, Babenko P Yu, Shergin A P, Zinoviev A N J. Surf. Investig. 14 738 (2020)
  166. van Gorkum A A, Kornelsen E V Rad. Eff. 52 25 (1980)
  167. Borovikov V, Voter A F, Tang X-Z J. Nucl. Mater. 447 254 (2014)
  168. Robinson M T J. Nucl. Mater. 103 525 (1981)
  169. Yamamura Y Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 33 429 (1988)
  170. Robinson M T, Oen O S Appl. Phys. Lett. 2 30 (1963)
  171. Lindhard J Mat.-Fys. Medd. Dan. Vid. Selsk. 34 1 (1965)
  172. Тулинов А Ф УФН 87 585 (1965); Tulinov A F Sov. Phys. Usp. 8 864 (1966)
  173. Vantomme A Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 371 12 (2016)
  174. Tensin D S et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 540 33 (2023)
  175. Ohtsuki Y-H Charged Beam Interaction with Solids (London: Taylor and Francis, 1983); Пер. на русск. яз., Оцуки Ё-Х Взаимодействие заряженных частиц с твердыми телами (М.: Мир, 1985)
  176. Мелузова ДС, Бабенко П Ю, Шергин А П, Зиновьев А Н Письма в ЖТФ 46 (5) 34 (2020); Meluzova D S, Babenko P Yu, Shergin A P, Zinoviev A N Tech. Phys. Lett. 46 235 (2020)

© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение