Прогресс в технологии изготовления многослойных интерференционных зеркал нормального падения позволяет распространить традиционные для оптики методы микроскопии, астрономии и литографии в вакуумный ультрафиолетовый (ВУФ) диапазон (длины волн 10—200 нм) и длинноволновую часть мягкого рентгеновского (МР) диапазона (длины волн 2—10 нм). Благодаря короткой волне и особенностям её взаимодействия с веществом излучение этих диапазонов предоставляет уникальные возможности для нанофизики, нанотехнологии и нанодиагностики вещества. Для использования преимущества короткой волны в полном объёме необходима оптика дифракционного качества, точность которой должна быть как минимум на два порядка выше точности традиционной оптики. Даётся анализ реальных возможностей традиционных методов изготовления и изучения прецизионных оптических элементов, сообщается о развиваемых в Институте физики микроструктур РАН методах изготовления и характеризации оптики дифракционного качества для ВУФ- и МР-диапазонов. Приводятся примеры применения такой оптики для задач внеземной астрономии, рентгеновской микроскопии и литографии.
Ключевые слова: многослойное рентгеновское зеркало, оптика дифракционного качества, интерферометрия, асферическая поверхность, ионное травление, шероховатость, рентгеновская микроскопия, астрономия, литография PACS:06.30.−k DOI:10.3367/UFNr.2019.05.038601 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2020/1/f/ 000537855600006 2-s2.0-85085103717 2020PhyU...63...67C Цитата: Чхало Н И, Малышев И В, Пестов А Е, Полковников В Н, Салащенко Н Н, Торопов М Н "Рентгеновская оптика дифракционного качества: технология, метрология, применения" УФН190 74–91 (2020)
TY JOUR
TI Diffraction limited X-ray optics: technology, metrology, applications
AU Chkhalo, N. I.
AU Malyshev, I. V.
AU Pestov, A. E.
AU Polkovnikov, V. N.
AU Salashchenko, N. N.
AU Toropov, M. N.
PB Uspekhi Fizicheskikh Nauk
PY 2020
JO Uspekhi Fizicheskikh Nauk
JF Uspekhi Fizicheskikh Nauk
JA Usp. Fiz. Nauk
VL 190
IS 1
SP 74-91
UR https://ufn.ru/ru/articles/2020/1/f/
ER https://doi.org/10.3367/UFNr.2019.05.038601
Поступила: 4 июля 2019, одобрена в печать: 22 мая 2019