RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 11, 2024
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2019

 / 

Ноябрь

←  →

Обзоры актуальных проблем


Многослойные рентгеновские интерференционные структуры


Федеральный научно-исследовательский центр "Кристаллография и фотоника" РАН, Институт кристаллографии им. А.В.Шубникова РАН, Ленинский просп. 59, Москва, 119333, Российская Федерация

Рассмотрены принципы функционирования, современное состояние и проблемы в области многослойной рентгеновской оптики. Обсуждаются методы оптимизации планарных многослойных интерференционных структур и многослойных дифракционных решёток, их применение в науке и технике.

Текст pdf (1,4 Мб)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.2018.10.038439
Ключевые слова: многослойные системы, дифракционные решётки, рентгеновское излучение, рентгеновская оптика, дифракция, интерференция, спектральное разрешение
PACS: 07.85.−m, 41.50.+h, 42.79.Dj, 42.88.+h, 61.05.cp, 78.20.Bh, 78.67.Pt, 95.55.Ka (все)
DOI: 10.3367/UFNr.2018.10.038439
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2019/11/a/
000518757700001
2-s2.0-85083341825
Цитата: Лидер В В "Многослойные рентгеновские интерференционные структуры" УФН 189 1137–1171 (2019)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Поступила: 12 июля 2018, доработана: 24 сентября 2018, 4 октября 2018

English citation: Lider V V “Multilayer X-ray interference structures” Phys. Usp. 62 1063–1095 (2019); DOI: 10.3367/UFNe.2018.10.038439

Список литературы (556) ↓ Статьи, ссылающиеся на эту (7) Похожие статьи (20)

  1. Spiller E Exp. Meth. Phys. Sci. 31 271 (1998)
  2. Michette A G Optical Systems for Soft X-Rays (New York: Plenum Press, 1986); Пер. на русск. яз., Мишетт А Оптика мягкого рентгеновского излучения (М.: Мир, 1989)
  3. Виноградов А В и др Зеркальная рентгеновская оптика (Под общ. ред. А В Виноградова) (Л.: Машиностроение, 1989)
  4. Dhez P J. Phys. Colloq. 47 C6-267 (1986)
  5. Barbee T W Opt. Eng. 25 258898 (1986)
  6. Bruijn M P et al Proc. SPIE 984 54 (1988)
  7. Виноградов А В Квантовая электроника 32 1113 (2002); Vinogradov A V Quantum Electron. 32 1113 (2002)
  8. Bajt S, Edwards N V, Madey T E Surf. Sci. Rep. 63 73 (2008)
  9. Morawe Ch, Osterhoff M X-Ray Opt. Instrum. 2010 479631 (2010)
  10. Yan H et al X-Ray Opt. Instrum. 2010 401854 (2010)
  11. Louis E et al Prog. Surf. Sci. 86 255 (2011)
  12. Вишняков Е А и др Квантовая электроника 42 143 (2012); Vishnyakov Е А et al Quantum Electron. 42 143 (2012)
  13. Барышева М М и др УФН 182 727 (2012); Barysheva M M et al Phys. Usp. 55 681 (2012)
  14. Huang Q et al Appl. Phys. Rev. 4 011104 (2017)
  15. Jiang L, Al-Mosheky Z, Grupido N Powder Diffract. 17 (2) 81 (2002)
  16. Shimizu K, Omote K The Rigaku J. 24 1 (2008)
  17. Блохин М А Физика рентгеновских лучей 2-е изд. (М.: ГИТТЛ, 1957)
  18. Kozhevnikov I V, Vinogradov A V Phys. Scripta 1987 (T17) 137 (1987)
  19. Underwood J H, Barbee T W Appl. Opt. 20 3027 (1981)
  20. Kozhevnikov I V et al Opt. Express 19 9172 (2011)
  21. Vinogradov A V, Zeldovich B Ya Appl. Opt. 16 89 (1977)
  22. Medvedev V V et al Opt. Mater. Express 5 1450 (2015)
  23. Andreev S S et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 448 133 (2000)
  24. Andreev S S et al Proc. SPIE 1800 195 (1992)
  25. Salashchenko N N et al Proc. SPIE 2011 402 (1994)
  26. Salashchenko N N, Shamov E A Opt. Commun. 134 7 (1997)
  27. Schäfers F et al Appl. Opt. 37 719 (1998)
  28. Kuhlmann T et al Appl. Opt. 41 2048 (2002)
  29. Guggenmos A et al Opt. Express 22 26526 (2014)
  30. Haase A et al J. Appl. Cryst. 49 2161 (2016)
  31. Eriksson F et al Opt. Lett. 28 2494 (2003)
  32. Eriksson F et al J. Appl. Phys. 104 063516 (2008)
  33. Huang Q et al Sci. Rep. 7 12929 (2017)
  34. Mertins H-C et al Appl. Opt. 37 1873 (1998)
  35. Прохоров К А и др Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исслед. (1) 166 (1999)
  36. Eriksson F et al Thin Solid Films 500 84 (2006)
  37. Ghafoor N et al Appl. Opt. 45 137 (2006)
  38. Artyukov I A et al Proc. SPIE 5919 59190E (2005)
  39. Artyukov I A et al Micron 41 722 (2010)
  40. Akhsakhalyan A D et al Phys. Scripta 43 516 (1993)
  41. Niibe M et al Proc. SPIE 1720 208 (1992)
  42. Artyukov et al Opt. Lett. 34 2930 (2009)
  43. Stearns D G, Rosen R S, Vernon S P Appl. Opt. 32 6952 (1993)
  44. Wu B, Kumar A Appl. Phys. Rev. 1 011104 (2014)
  45. Medvedev V "Tailoring spectral properties of extreme UV multilayer optics" Dissertation (Enschede: Univ. Twente, 2015)
  46. Stearns D G, Rosen R S, Vernon S P J. Vac. Sci. Technol. A 9 2662 (1991)
  47. Folta J A et al Pros. SPIE 3676 702 (1999)
  48. Stuik R et al J. Vac. Sci. Technol. B 17 2998 (1999)
  49. Louis E et al Pros. SPIE 3997 406 (2000)
  50. Bajt S et al Opt. Eng. 41 1797 (2002)
  51. Andreev S S et al Thin Solid Films 415 123 (2002)
  52. Hiruma K et al Thin Solid Films 516 2050 (2008)
  53. Chkhalo N I, Salashchenko N N AIP Adv. 3 082130 (2013)
  54. Stearns D G et al Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 382 329 (1995)
  55. Skulina K M et al Appl. Opt. 34 3727 (1995)
  56. Mirkarimi P B, Montcalm C Proc. SPIE 3331 133 (1998)
  57. Tsarfati T et al Thin Solid Films 518 1365 (2009)
  58. Montcalm C et al Appl. Opt. 35 5134 (1996)
  59. Андреев С С и др ЖТФ 80 (8) 93 (2010); Andreev S S et al Tech. Phys. 55 1168 (2010)
  60. Platonov Yu et al Proc. SPIE 8076 80760N (2011)
  61. Chkhalo N I et al Appl. Phys. Lett. 102 011602 (2013)
  62. Makhotkin I A et al Opt. Express 21 29894 (2013)
  63. Ricardo P et al Appl. Opt. 40 2747 (2001)
  64. Michaelsen C et al Opt. Lett. 26 792 (2001)
  65. Michaelsen C et al Proc. SPIE 4501 135 (2001)
  66. André J-M et al X-Ray Spectrom. 34 203 (2005)
  67. Michaelsen C et al Proc. SPIE 4782 143 (2002)
  68. Makhotkin I A et al Phys. Status Solidi A 208 2597 (2011)
  69. Henke B L, Gullikson E M, Davis J C Data Nucl. Data Tables 54 181 (1993)
  70. Вишняков Е А и др Квантовая электроника 43 666 (2013); Vishnyakov E A et al Quantum Electron. 43 666 (2013)
  71. Kopylets I A et al Appl. Surf. Sci. 307 360 (2014)
  72. Corso A J et al Opt. Express 20 8006 (2012)
  73. Kastner S O, Neupert W M, Swartz M Astrophys. J. 191 261 (1974)
  74. Morawe Ch, Supruangnet R, Peffen J-Ch Thin Solid Films 588 1 (2015)
  75. Xu D et al Opt. Express 23 33018 (2015)
  76. Wu M-Y et al Proc. SPIE 10235 102350F (2017)
  77. Windt D L et al Proc. SPIE 5168 1 (2003)
  78. Stearns D G, Rosen R S, Vernon S P Opt. Lett. 16 1283 (1991)
  79. Kjornrattanawanich B, Bajt S Appl. Opt. 43 5955 (2004)
  80. Montcalm С et al Opt. Lett. 19 1173 (1994)
  81. Montcalm C et al Opt. Lett. 20 1450 (1995)
  82. Sae-Lao B, Montcalm C Opt. Lett. 26 468 (2001)
  83. Huber S P et al Opt. Mater. Express 6 3946 (2016)
  84. Xu D et al Opt. Express 23 33018 (2015)
  85. Lemen J R et al Solar Phys. 275 17 (2012)
  86. Suman M et al Appl. Opt. 48 5432 (2009)
  87. Meltchakov E et al Appl. Phys. A 98 111 (2010)
  88. Windt D L, Bellotti J A Appl. Opt. 48 4932 (2009)
  89. Hu M-H et al Opt. Express 18 20019 (2010)
  90. Зуев С Ю и др Изв. РАН. Сер. физ. 74 58 (2010); Zuev S Yu et al Bull. Russ. Acad. Sci. Phys. 74 50 (2010)
  91. Zhong Q et al Opt. Express 20 10692 (2012)
  92. Zhong Q et al J. Phys. Conf. Ser. 425 152010 (2013)
  93. Windt D L Proc. SPIE 9604 96040P (2015)
  94. Nii H et al J. Synchrotron Radiat. 5 702 (1998)
  95. Zhu J et al Proc. SPIE 8168 81681C (2012)
  96. Zhu J et al Front. Optoelectron. China 1 305 (2008)
  97. Zhu J et al Appl. Opt. 49 3922 (2010)
  98. Yoshikawa I et al Rev. Sci. Instrum. 76 066109 (2005)
  99. Takenaka H et al J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 144-147 1047 (2005)
  100. Soufli R et al Proc. SPIE 5901 59010M (2005)
  101. Maury H et al Eur. Phys. J. B 64 193 (2008)
  102. Soufli R et al Proc. SPIE 8443 84433R (2012)
  103. Li H C et al Proc. SPIE 8501 85010G (2012)
  104. Le Guen K et al J. Phys. Chem. C 114 6484 (2010)
  105. Li H et al Appl. Phys. Lett. 102 111103 (2013)
  106. Uspenskii Yu A et al Proc. SPIE 3156 288 (1997)
  107. Schaefers F et al Proc. SPIE 5188 138 (2003)
  108. Uspenskii Yu A et al Opt. Lett. 23 771 (1998)
  109. Uspenskii Yu A et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 448 147 (2000)
  110. Vidal-Dasilva M, Fernández-Perea M, Larruquert J I Proc. SPIE 7448 74480N (2009)
  111. Windt D L et al Opt. Lett. 30 3186 (2005)
  112. Kjornrattanawanich B et al Appl. Opt. 45 1765 (2006)
  113. Kjornrattanawanich B et al Proc. SPIE 6317 63170U (2006)
  114. Kjornrattanawanich B, Windt D L, Seely J F Opt. Lett. 33 965 (2008)
  115. Seely J F et al Proc. SPIE 6317 63170T (2006)
  116. Windt D L Proc. SPIE 9603 96031C (2015)
  117. Paul A, Lodha G S Phys. Rev. B 65 245416 (2002)
  118. Windt D L et al Proc. SPIE 4012 442 (2000)
  119. Mao P H Appl. Opt. 38 4766 (1999)
  120. Jankowski A F, Makowiecki D M Opt. Eng. 30 2003 (1991)
  121. Pradhan P C et al J. Phys. D 49 135305 (2016)
  122. Andreev S S et al J. Synchrotron Rad. 10 358 (2003)
  123. Platonov Yu Ya, Gomez L, Broadway D Proc. SPIE 4782 152 (2002)
  124. Jensen C P, Madsen K K, Christensen F E Proc. SPIE 6266 626612 (2006)
  125. Windt D L et al Appl. Opt. 42 2415 (2003)
  126. Spiga D et al Proc. SPIE 5488 813 (2004)
  127. Dietsch R et al Proc. SPIE 4144 137 (2000)
  128. Windt D L App. Phys. Lett. 74 2890 (1999)
  129. Boher P, Hennet L, Houdy Ph Pros. SPIE 1345 198 (1990)
  130. Larruquert J I J. Opt. Soc. Am. A 18 2617 (2001)
  131. Larruquert J I J. Opt. Soc. Am. A 19 391 (2002)
  132. Larruquert J I Opt. Commun. 206 259 (2002)
  133. Gautier J et al Appl. Opt. 44 384 (2005)
  134. Le Guen K et al Appl. Phys. A 102 69 (2011)
  135. Jiang H Optimization Algorithms. Methods and Applications (Ed. O Baskan) (London: InTech, 2016) p. 221
  136. Press W H et al Numerical Recipes in C++: The Art of Scientific Computing 2nd ed. (Cambridge: Cambridge Univ. Press, 2002) p. 394
  137. Singh M, Braat J J M Proc. SPIE 3997 412 (2000)
  138. Parratt L G Phys. Rev. 95 359 (1954)
  139. Spiga D Modern Developments in X-Ray and Neutron Optics (Eds A Erko et al) (New York: Springer-Verlag, 2008) p. 233
  140. Chen L, Deng N Y, Zhang J Z Comput. Optimizat. Appl. 35 5 (2006)
  141. Amini K, Ghorbani Rizi A J. Comput. Appl. Math. 234 805 (2010)
  142. Petrova S S, Solov'ev A D Historia Math. 24 361 (1997)
  143. Levenberg K Quart. Appl. Math. 2 164 (1944)
  144. Marquardt D W SIAM J. Appl. Math. 11 431 (1963)
  145. Kozhevnikov I V, Bukreeva I N, Ziegler E Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 460 424 (2001)
  146. Ziegler E et al Proc. SPIE 4782 169 (2002)
  147. Nelder J A, Mead R Comput. J. 7 308 (1965)
  148. Martin S, Rivory J, Schoenauer M Appl. Opt. 34 2247 (1995)
  149. Wormington M et al Phil. Trans. R. Soc. London A 357 2827 (1999)
  150. Sanchez del Rio M, Pareschi G Proc. SPIE 4145 88 (2001)
  151. Kirkpatrick S, Gelatt C D (Jr.), Vecchi M P Science 220 671 (1983)
  152. Dekkers A, Aarts E Math. Program. 50 367 (1991)
  153. Ziegler E et al Adv. X-Ray Anal. 45 345 (2002)
  154. Ali M M, Storey C Int. J. Comput. Math. 53 229 (1994)
  155. Törn A, Viitanen S J. Global Optimizat. 5 267 (1994)
  156. Poli R, Kennedy J, Blackwell T Swarm Intell. 1 33 (2007)
  157. Dorigo M, Blum C Theor. Comput. Sci. 344 243 (2005)
  158. Spiga D et al Proc. SPIE 5536 71 (2004)
  159. Spiga D et al Proc. SPIE 6266 626616 (2006)
  160. Windt D L Comput. Phys. 12 360 (1998)
  161. Spiller E et al Appl. Phys. Lett. 37 1048 (1980)
  162. Bajt S et al Proc. SPIE 6586 65860J (2007)
  163. Barbee T W, Mrowka S, Hettrick M C Appl. Opt. 24 883 (1985)
  164. Данилин Б С, Сырчин В К Магнетронные распылительные системы (М.: Радио и связь, 1982)
  165. Кузьмичев А И Магнетронные распылительные системы Кн. 1 Введение в физику и технику магнетронного распыления (Киев: Аверс, 2008)
  166. Putero-Vuaroqueaux M, Vidal B J. Phys. Condens. Matter 13 3969 (2001)
  167. Paret V et al Microelectron. Eng. 61-62 145 (2002)
  168. Meltchakov E et al J. Phys. Condens. Matter 18 3355 (2006)
  169. Morawe Ch et al AIP Conf. Proc. 1234 720 (2010)
  170. Spiller E et al Appl. Opt. 42 4049 (2003)
  171. Gawlitza P et al Proc. SPIE 6317 63170G (2006)
  172. Kloidt A et al Appl. Phys. Lett. 58 2601 (1991)
  173. Nedelcu I et al Thin Solid Films 515 434 (2006)
  174. Gaponov S V et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. 208 227 (1983)
  175. Braun St et al Microelectron. Eng. 57-58 9 (2001)
  176. Dietsch R et al Appl. Surf. Sci. 197-198 169 (2002)
  177. Andreev S S et al Gentr. Eur. J. Phys. 1 191 (2003)
  178. Artyukov I A et al Proc. SPIE 5919 59190E (2005)
  179. Andreev S S et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 603 80 (2009)
  180. Montcalm C et al Proc. SPIE 3331 42 (1998)
  181. Вайнер Ю А и др Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исслед. (1) 10 (2007)
  182. Névot L, Croce P Rev. Phys. Appl. 15 761 (1980)
  183. Jonnard P et al Proc. SPIE 7360 73600O (2009)
  184. Le Guen K et al X-Ray Spectrom. 40 338 (2011)
  185. Valkovskiy G A et al Phys. Status Solidi A 208 2623 (2011)
  186. Yuan Y et al Appl. Surf. Sci. 331 8 (2015)
  187. Sinha M, Modi M H J. Laser Opt. Photon. 3 138 (2016)
  188. Nevot L, Pardo B, Corno J Rev. Phys. Appl. 23 1675 (1988)
  189. Kojima I, Li B Rigaku J. 16 31 (1999)
  190. Боровский И Б и др УФН 149 275 (1986); Borovskii I B et al Sov. Phys. Usp. 29 539 (1986)
  191. Günther H NMR-Spectroskopie (Stuttgart: Georg Thieme Verlag, 1983); Пер. на англ. яз., Günther H NMR Spectroscopy. An Introduction (Chichester: Wiley, 1980); Пер. на русск. яз., Гюнтер X Введение в курс спектроскопии ЯМР (M.: Мир, 1984)
  192. Krämer M et al J. Analyt. Atom. Spectrom. 21 1136 (2006)
  193. Sinha S K J. Phys. III France 4 1543 (1994)
  194. Holý V Appl. Phys. A 58 173 (1994)
  195. Binnig G, Quate C F, Gerber C Phys. Rev. Lett. 56 930 (1986)
  196. Миронов В Л Основы сканирующей зондовой микроскопии (М.: Техносфера, 2004)
  197. Briggs D, Seah M P (Eds) Practical Surface Analysis: by Auger and X-ray Photoelectron Spectroscopy (Chichester: Wiley, 1983); Пер. на русск. яз., Бриггс Д, Сих М П (Ред.) Анализ поверхности методами оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (М.: Мир, 1987)
  198. Нефедов В И, Черепин В Т Физические методы исследования поверхности твердых тел (М.: Наука, 1983)
  199. Walls M G, Chevalier J-P, Hytch M J J. Phys. IV France 6 C7-213 (1996)
  200. Yulin S et al J. Appl. Phys. 92 1216 (2002)
  201. Spiller E Proc. SPIE 563 367 (1985)
  202. Spiller E et al Appl. PРhys. Lett. 61 1481 (1992)
  203. Panissod P, Mény C Appl. Magn. Reson. 19 447 (2000)
  204. Assoufid L, Graafsma H MRS Bull. 42 418 (2017)
  205. Рагозин Е Н, Собельман И И УФН 175 1339 (2005); Ragozin E N, Sobel'man I I Phys. Usp. 48 1249 (2005)
  206. Brandi F, Neshev D, Ubachs W Phys. Rev. Lett. 91 163901 (2003)
  207. Ritucci A et al Appl. Phys. Lett. 86 101106 (2005)
  208. Vinogradov A V et al Proc. SPIE 4505 230 (2001)
  209. Böttger T et al Thin Solid Films 444 165 (2003)
  210. Jonnard P et al Surf. Sci. 604 1015 (2010)
  211. Maury H et al Thin Solid Films 514 278 (2006)
  212. de Rooij-Lohmann V I T A et al J. Appl. Phys. 108 094314 (2010)
  213. Pershyn Yu P et al Opt. Eng. 52 095104 (2013)
  214. Braun S et al Proc. SPIE 4782 185 (2002)
  215. Chkhalo N I et al Opt. Lett. 42 5070 (2017)
  216. Воронов Д Л и др Поверхность. Рентгеновские, синхротротронные и нейтронные исслед. (5) 13 (2007)
  217. Voronov D L et al AIP Conf. Proc. 641 575 (2002)
  218. Jankowski A F et al Thin Solid Films 469-470 372 (2004)
  219. Pershyn Y P et al Appl. Phys. A 103 1021 (2011)
  220. Huang Q et al Opt. Lett. 41 701 (2016)
  221. Li P et al Vacuum 128 85 (2016)
  222. Zhu J et al Opt Express 19 21849 (2011)
  223. Windt D L et al Appl. Opt. 48 5502 (2009)
  224. Modi M H et al Opt. Express 20 15114 (2012)
  225. Feigl T et al Proc. SPIE 4506 121 (2001)
  226. Kaiser N, YulS A, Feigl T Proc. SPIE 4146 91 (2000)
  227. Modi M H et al Opt. Express 20 15114 (2012)
  228. Fernández-Perea M et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 710 114 (2013)
  229. Choueikani F et al Appl. Phys. A 111 191 (2013)
  230. Liu Ch et al Proc. SPIE 5537 154 (2004)
  231. Kleineber U et al Phys. Status Solidi A 145 539 (1994)
  232. Kondratenko V V et al Appl. Opt. 32 1811 (1993)
  233. Конотопский Л Е и др Металлофизика. Новейшие технологии 38 825 (2016)
  234. Ghafoor N et al Appl. Phys. Lett. 92 091913 (2008)
  235. Kuznetsov D S et al Opt. Lett. 40 3778 (2015)
  236. Wang Y et al Opt. Express 25 7749 (2017)
  237. Burcklen C et al Opt. Lett. 42 1927 (2017)
  238. Luby S, Majkova E Appl. Surf. Sci. 248 316 (2005)
  239. Bai H L et al J. Phys. Condens. Matter 8 8763 (1996)
  240. Jonnard P et al Proc. SPIE 7360 73600O (2009)
  241. Galtayries A et al Surf. Interface Analys. 42 653 (2010)
  242. Voorma H-J et al J. Appl. Phys. 82 1876 (1997)
  243. Birch J et al Vacuum 68 275 (2002)
  244. Spiller E Appl. Phys. Lett. 54 2293 (1989)
  245. Puik E J et al Thin Solid Films 193-194 782 (1990)
  246. Kloidt A et al Thin Solid Films 228 154 (1993)
  247. Louis E et al Microelectron. Eng. 23 215 (1994)
  248. Schlatmann R et al Appl. Surf. Sci. 78 147 (1994)
  249. Louis E et al Proc. SPIE 2515 194 (1995)
  250. Guggenmos A et al Opt. Express 22 26526 (2014)
  251. Yi Q et al Appl Opt. 56 C145 (2017)
  252. Niibe M et al Proc. SPIE 1343 2 (1990)
  253. Wang F-F et al Chinese Phys. C 36 909 (2012)
  254. Fullerton E E et al Phys. Rev. B 48 17432 (1993)
  255. Кожевников И В "Теория дифракции рентгеновского излучения от неоднородных слоистых сред" Дисс. ... докт. физ.-мат. наук (М.: Институт кристаллографии РАН, 2013)
  256. Majaniemi S, Ala-Nissila T, Krug J Phys. Rev. B 53 8071 (1996)
  257. Soufli R et al Proc. SPIE 8501 850102 (2012)
  258. Zubarev E N et al Appl. Phys. A 90 705 (2008)
  259. Eriksson F et al Proc. SPIE 4506 14 (2001)
  260. Windt D L, Gullikson E M, Walton Ch C Opt. Lett. 27 2212 (2002)
  261. Stearns M B, Chang C-H, Stearns D G J. Appl. Phys. 71 187 (1992)
  262. Voorma H-J et al J. Appl. Phys. 83 4700 (1998)
  263. Ogura S et al Proc. SPIE 984 140 (1988)
  264. de Rooij-Lohmann V I T A et al Appl. Surf. Sci. 257 6251 (2011)
  265. Bellotti J A, Windt D L Proc. SPIE 7437 743715 (2009)
  266. Windt D L Proc. SPIE 6688 66880R (2007)
  267. Windt D L et al J. Appl. Phys. 78 2423 (1995)
  268. Kola R R et al Appl. Phys. Lett. 60 3120 (1992)
  269. Kassner M E et al J. Mater. Sci. 31 2291 (1996)
  270. Barthelmess M, Bajt S Appl. Opt. 50 1610 (2011)
  271. Mirkarimi P B Opt. Eng. 38 1246 (1999)
  272. Shiraishi M et al Jpn. J. App. Phys. 39 6810 (2000)
  273. Leisegang T et al Appl. Phys. A 77 965 (2003)
  274. Windt D L Proc. SPIE 3448 280 (1998)
  275. Windt D L J. Vac. Sci. Technol. B 17 1385 (1999)
  276. Andreev S S et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 470 162 (2001)
  277. Zoethout E et al Proc. SPIE 5037 872 (2003)
  278. Bajt S et al Appl. Opt. 42 5750 (2003)
  279. Graham S et al J. Vac. Sci. Technol. B 20 2393 (2002)
  280. Graham S (Jr.) et al Proc. SPIE 5037 460 (2003)
  281. Oizumi H et al Pros. SPIE 5751 1147 (2005)
  282. Wedowski M et al Proc. SPIE 3767 217 (1999)
  283. Oestreich S et al Pros. SPIE 4146 64 (2000)
  284. Klebanoff L E et al J. Vac. Sci. Technol. B 20 696 (2002)
  285. Singh M, Braat J J M Opt. Lett. 26 259 (2001)
  286. Yulin S et al Proc. SPIE 6921 692118 (2008)
  287. Corso A J et al Opt. Express 19 13963 (2011)
  288. Over H, Muhler M Prog. Surf. Sci. 72 3 (2003)
  289. Grisham M et al Opt. Lett. 29 620 (2004)
  290. Hau-Riege S P еt al. Phys. Rev. Lett. 98 145502 (2007)
  291. Barkusky F et al Opt. Express 18 4346 (2010)
  292. Corso A J et al J. Appl. Phys. 113 203106 (2013)
  293. Müller M et al Appl. Phys. A 108 263 (2012)
  294. Louis E et al Proc. SPIE 7361 73610I (2009)
  295. Khorsand A R et al Opt. Express 18 700 (2010)
  296. Sobierajski R et al Opt. Express 19 193 (2011)
  297. Giglia A et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 635 S30 (2011)
  298. Suman M et al Thin Solid Films 520 2301 (2012)
  299. Fomenkov I V et al Proc. SPIE 8679 86792I (2013)
  300. Lilensten J et al Ann. Geophys. 26 269 (2008)
  301. Artyukov I A et al Opt. Commun. 102 401 (1993)
  302. Fujimoto J et al Proc. SPIE 8322 83220F (2012)
  303. Володин Б А и др Изв. РАН. Сер. физ. 74 53 (2010); Volodin B A et al Bull. Russ. Acad. Sci. Phys. 74 46 (2010)
  304. Chkhalo N I et al Appl. Opt. 55 4683 (2016)
  305. Huang Q et et al Opt. Express 22 19365 (2014)
  306. Huang Q et al Proc. SPIE 9048 90480G (2014)
  307. van Herpen M M J W et al Opt. Lett. 33 560 (2008)
  308. Huber S P et al Proc. SPIE 8848 884814 (2013)
  309. Suman M et al Proc. SPIE 7360 73600T (2009)
  310. Naujok P et al Opt. Express 23 4289 (2015)
  311. Soer W A et al Opt. Lett. 34 3680 (2009)
  312. Medvedev V V et al Opt. Lett. 37 1169 (2012)
  313. Medvedev V V et al Appl. Phys. Lett. 103 221114 (2013)
  314. Rack A et al J. Synchrotron Rad. 17 496 (2010)
  315. Chu Y S et al Rev. Sci. Instrum. 73 1485 (2002)
  316. Platonov Yu Y et al Proc. SPIE 5537 161 (2004)
  317. Feng R et al Proc. SPIE 7077 70771Y (2008)
  318. Oberta P, Platonov Y, Flechsig U J. Synchrotron Rad. 19 675 (2012)
  319. Khounsary A et al Proc. SPIE 9963 99630W (2016)
  320. Gautier J et al Opt. Commun. 281 3032 (2008)
  321. Roling S et al Opt. Lett. 39 2782 (2014)
  322. Henry J P, Spiller E, Weisskopf M Proc. SPIE 316 166 (1982)
  323. Misture S T X-Ray Opt. Instrum. 2008 408702 (2008)
  324. Wang Y et al J. Synchrotron Rad. 14 138 (2007)
  325. Kazimirov A et al J. Synchrotron Rad. 13 204 (2006)
  326. Бороздин Ю Э и др Письма в ЖЭТФ 87 33 (2008); Borozdin Yu E et al JETP Lett. 87 27 (2008)
  327. Лопатин А Я и др ЖТФ 80 (7) 105 (2010); Lopatin A Ya et al Tech. Phys. 55 1018 (2010)
  328. Kirkpatric P, Baez A V J. Opt. Soc. Am. 38 766 (1948)
  329. Akhsakhalyan A A et al Centr. Eur. J. Phys. 3 163 (2005)
  330. Pardini T et al Proc. SPIE 8850 88500E (2013)
  331. Yi Sh et al Chinese Opt. Lett. 12 083401 (2014)
  332. An N et al Proc. SPIE 9211 92110I (2014)
  333. Brejnholt N F et al Proc. SPIE 9591 95910J (2015)
  334. Verman B et al Adv. X-Ray Anal. 42 321 (2000)
  335. Morawe Ch, Osterhoff M Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 616 98 (2010)
  336. Delaboudiniére J-P et al Solar Phys. 162 291 (1995)
  337. Житник И А, Кузин С В, Слемзин В А Поверхность. Рентгеновские, синхротротронные и нейтронные исслед. (1) 19 (1999)
  338. Martínez-Galarce D S et al Opt. Eng. 52 095102 (2013)
  339. DiCicco D S et al Opt. Lett. 17 157 (1992)
  340. Murakami K et al Appl. Opt. 32 7057 (1993)
  341. Artioukov I A et al Opt. Lett. 20 2451 (1995)
  342. Brizuela F et al Opt. Express 13 3984 (2005)
  343. Stollberg H et al Rev. Sci. Instrum. 77 123101 (2006)
  344. Hertz H M et al J. Struct. Biol. 177 267 (2012)
  345. Zastrau U et al Rev. Sci. Instrum. 89 023703 (2018)
  346. Бейгман И Л, Покровский Ю Ю, Рагозин Е Н ЖЭТФ 110 1783 (1996); Beigman I L, Pokrovskii Yu Yu, Ragozin E N JETP 83 981 (1996)
  347. Бейгман И Л, Пирожков А С, Рагозин Е Н Письма в ЖЭТФ 74 167 (2001); Beigman I L, Pirozhkov A S, Ragozin E N JETP Lett. 74 149 (2001)
  348. Fischer D A et al Rev. Sci. Instrum. 73 1469 (2002)
  349. Artyukov I A et al Micron 41 722 (2010)
  350. Singh M, Braat J J M Appl. Opt. 39 2189 (2000)
  351. Wu B, Kumar A Appl. Phys. Rev. 1 011104 (2014)
  352. Лидер В В Поверхность. Рентгеновские, синхротротронные и нейтронные исслед. (11) 7 (2017); Lider V V J. Surf. Invest. X-Ray Synchr. Neutron Tech. 11 1113 (2017)
  353. Vernon S P et al Proc. SPIE 3546 184 (1998)
  354. Khandar А, Dhez P Proc. SPIE 563 158 (1985)
  355. Gluskin E S et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 246 394 (1986)
  356. Gaupp A, Mast M Rev. Sci. Instrum. 60 2213 (1989)
  357. Kortright J B, Underwood J H Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 291 272 (1990)
  358. Kortright J B et al Appl. Phys. Lett. 60 2963 (1992)
  359. Yamamoto M et al Rev. Sci. Instrum. 63 1510 (1992)
  360. Di Fonzo S et al Appl. Opt. 33 2624 (1994)
  361. Di Fonzo S et al Rev. Sci. Instrum. 66 1513 (1995)
  362. Hu W et al J. Synchrotron Rad. 5 732 (1998)
  363. Grimmer H et al Proc. SPIE 3773 224 (1999)
  364. Schäfers F et al Appl. Opt. 38 4074 (1999)
  365. Tan M Y et al Opt. Express 17 586 (2009)
  366. Imazono T et al Rev. Sci. Instrum. 80 085109 (2009)
  367. MacDonald M A, Schäfers F, Gaupp A Opt. Express 17 23290 (2009)
  368. Wagner U H et al AIP Conf. Proc. 1234 781 (2010)
  369. Cui M et al AIP Conf. Proc. 1234 641 (2010)
  370. Guo Z-Y et al Chinese Phys. C 37 18001 (2013)
  371. Schmidt J et al Opt. Express 23 33564 (2015)
  372. Grizolli W et al Rev. Sci. Instrum. 87 025102 (2016)
  373. Kortright J B, Fischer-Colbrie A J. Appl. Phys. 61 1130 (1987)
  374. Lee P Appl. Opt. 22 1241 (1983)
  375. Ragozin E N et al Proc. SPIE 4782 176 (2002)
  376. Levashov V E et al Radiat. Phys. Chem. 75 1819 (2006)
  377. Пирожков А С, Рагозин Е Н УФН 185 1203 (2015); Pirozhkov A S, Ragozin E N Phys. Usp. 58 1095 (2015)
  378. Joensen K D et al Appl. Opt. 34 7935 (1995)
  379. Windt D L et al J. Appl. Phys. 88 460 (2000)
  380. Yakshin A E et al Opt. Express 18 6957 (2010)
  381. van Loevezijn P et al Appl. Opt. 35 3614 (1996)
  382. Protopopov V V, Kalnov V A Opt. Commun. 158 127 (1998)
  383. Wang Z, Michette A G J. Opt. A 2 452 (2000)
  384. Vinogradov A V, Faschenko R M Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 448 142 (2000)
  385. Powell K, Tait J M, Michette A G Proc. SPIE 4145 254 (2001)
  386. Morawe Ch et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 493 189 (2002)
  387. Cheng X et al Opt. Commun. 265 197 (2006)
  388. Yao Y, Kunieda H, Wang Zh Opt. Express 21 8638 (2013)
  389. Aquila A L et al Opt. Express 14 10073 (2006)
  390. Кожевников И В и др Кристаллография 51 1146 (2006); Kozhevnikov I V et al Crystallogr. Rep. 51 1075 (2006)
  391. Kozhevnikov I V, Yakshin A E, Bijkerk F Opt. Express 23 9276 (2015)
  392. Wang Z et al Appl. Phys. Lett. 89 241120 (2006)
  393. Wang H et al Thin Solid Films 515 2523 (2006)
  394. Wang Z et al J. Appl. Phys. 99 056108 (2006)
  395. Wang Z et al Appl. Phys. Lett. 90 031901 (2007)
  396. Tan M Y et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 654 588 (2011)
  397. Morawe Ch, Peffen J-Ch, Supruangnet R Proc. SPIE 9207 92070J (2014)
  398. Tang X et al Opt. Express 25 22537 (2017)
  399. Капралов В Г и др Квантовая электрон. 32 149 (2002); Kapralov V G et al Quantum Electron. 32 149 (2002)
  400. Бейгман И Л и др Квантовая электроника 37 1060 (2007); Beigman I L et al Quantum Electron. 37 1060 (2007)
  401. Champeaux J-Ph et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 581 687 (2007)
  402. Вишняков Е А, Шатохин А Н, Рагозин Е Н Квантовая электроника 45 371 (2015); Vishnyakov Е A, Shatokhin A N, Ragozin Е N Quantum Electron. 45 371 (2015)
  403. Yamashita K et al Appl. Opt. 37 8067 (1998)
  404. Okajima T et al Appl. Opt. 41 5417 (2002)
  405. Harrison F A et al Astrophys. J. 770 103 (2013)
  406. Awaki H et al Appl. Opt. 53 7664 (2014)
  407. Wang F L et al X-Ray Lasers 2006. Proc. of the 10th Intern. Conf., August 20 - 25, 2006, Berlin, Germany (Springer Proceedings in Physics) Vol. 115 (Eds P V Nickles, K A Janulewicz) (Dordrecht: Springer, 2007) p. 555
  408. Ichimaru S et al Rev. Sci. Instrum. 86 093106 (2015)
  409. Pardini T et al Opt. Express 24 18642 (2016)
  410. Krausz F, Ivanov M Rev. Mod. Phys. 81 163 (2009)
  411. Hentschel M et al Nature 414 509 (2001)
  412. Krausz F, Stockman M I Nature Photon. 8 205 (2014)
  413. Morlens A-S et al Opt. Lett. 30 1554 (2005)
  414. Beigman I L, Pirozhkov A S, Ragozin E N J. Opt. A 4 433 (2002)
  415. Wonisch A et al Appl. Opt. 45 4147 (2006)
  416. Suman M et al Opt. Express 17 7922 (2009)
  417. Hofstetter M et al New J. Phys. 13 063038 (2011)
  418. Bourassin-Bouchet C et al New J. Phys. 14 023040 (2012)
  419. Lin C-Y, Liu D-H Chinese Phys. B 21 094216 (2012)
  420. Гарахин С А и др Квантовая электроника 47 378 (2017); Garakhin S A et al Quantum Electron. 47 378 (2017)
  421. Schultze M et al New J. Phys. 9 243 (2007)
  422. Bajt S et al J. Opt. Soc. Am. A 29 216 (2012)
  423. Schuster M et al Proc. SPIE 3767 183 (1999)
  424. Morawe Ch et al Rev. Sci. Instrum. 70 3227 (1999)
  425. Morawe Ch AIP Conf. Proc. 879 764 (2007)
  426. Michaelsen C et al Adv. X-Ray Anal. 42 308 (2000)
  427. Akhsakhalyan A A et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 543 346 (2005)
  428. Morawe C et al Proc. SPIE 5537 115 (2004)
  429. Hignette O et al Rev. Sci. Instrum. 76 063709 (2005)
  430. Morawe Ch et al Proc. SPIE 6317 63170F (2006)
  431. Hignette O et al AIP Conf. Proc. 879 792 (2007)
  432. Liu W et al J. Synchrotron Rad. 18 575 (2011)
  433. Morawe Ch et al Proc. SPIE 9588 958803 (2015)
  434. Schuster M, Gobel H J. Phys. D 28 A270 (1995)
  435. Stömmer R et al Adv. X-Ray Anal. 41 336 (1999)
  436. Holz T et al Adv. X-Ray Anal. 43 212 (2000)
  437. Liu Ch et al J. Vac. Sci. Technol. A 19 1421 (2001)
  438. Wang Z S et al Opt. Express 14 2533 (2006)
  439. Carniglia C K, Apfel J H J. Opt. Soc. Am. 70 523 (1980)
  440. Hatano T, Ejima T, Tsuruba T J. Electron. Spectrosc. Relat. Phenom. 220 14 (2017)
  441. Yulin S A et al Proc. SPIE 5645 289 (2005)
  442. Arkadiev V A et al Proc. SPIE 3773 122 (1999)
  443. Menzel M et al Appl. Phys. A 79 1039 (2004)
  444. Martynov V V et al AIP Conf. Proc. 705 697 (2004)
  445. Lim Y C et al Appl. Phys. A 72 121 (2001)
  446. Sammar A, André J-M, Pardo B Opt. Commun. 86 245 (1991)
  447. Erko A I et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 333 599 (1993)
  448. Keski-Kuha R A M Appl. Opt. 23 3534 (1984)
  449. Jark W Opt. Commun. 65 201 (1986)
  450. Voronov D L et al Proc. SPIE 6705 67050E (2007)
  451. van der Meer R et al Opt. Express 21 13105 (2013)
  452. Voronov D L et al AIP Conf. Proc. 1234 891 (2010)
  453. Yang X et al J. Opt. Soc. Am. B 32 506 (2015)
  454. Chernov V A et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 405 310 (1998)
  455. Martynov V V, Platonov Yu Adv. X-Ray Anal. 45 402 (2002)
  456. Berrouane H et al Opt. Commun. 76 111 (1990)
  457. Sammar A et al J. Opt. 24 37 (1993)
  458. Benbalagh R et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 541 590 (2005)
  459. Ishino M et al Appl. Opt. 45 6741 (2006)
  460. Störmer M et al J. Phys. D 40 4253 (2007)
  461. Jonnard P, Le Guen K, André J-M X-Ray Spectrom. 38 117 (2009)
  462. van der Meer R et al Proc. SPIE 8139 81390Q (2011)
  463. Le Guen K et al Eur. Phys. J. Appl. Phys. 78 20702 (2017)
  464. André J-M et al Appl. Opt. 41 239 (2002)
  465. Kozhevnikov I V et al Opt. Express 18 16234 (2010)
  466. van der Meer R et al AIP Adv. 3 012103 (2013)
  467. Fialin M et al X-Ray Spectrom. 25 60 (1996)
  468. Yoshioka T et al Astron. Nachr. 320 384 (1999)
  469. Seely J F Proc. SPIE 4138 174 (2000)
  470. Imazono T et al Appl. Opt. 46 7054 (2007)
  471. Jonnard P et al X-Ray Spectrom. 41 308 (2012)
  472. André J-M et al X-Ray Spectrom. 30 12 (2001)
  473. André J-M, Jonnard P, Benbalagh R X-Ray Spectrom. 36 62 (2007)
  474. Rife J C et al Phys. Scripta 41 418 (1990)
  475. Underwood J H et al Rev. Sci. Instrum. 66 2147 (1995)
  476. Kowalski M P et al Opt. Lett. 29 2914 (2004)
  477. Lin H, Li L Appl. Opt. 47 6212 (2008)
  478. Voronov D L et al Proc. SPIE 7448 74480J (2009)
  479. Voronov D L et al Proc. SPIE 7802 780207 (2010)
  480. Sae-Lao B et al Appl. Opt. 41 2394 (2002)
  481. Voronov D L et al Opt. Lett. 39 3157 (2014)
  482. Voronov D L et al Opt. Express 23 4771 (2015)
  483. Voronov D L et al Appl. Phys. Lett. 109 043112 (2016)
  484. Goray L I, Egorov A Yu Appl. Phys. Lett. 109 103502 (2016)
  485. Senf F et al Opt. Express 24 13220 (2016)
  486. Naulleau P P et al Opt. Commun. 200 27 (2001)
  487. Maystre D, Petit R Nouvelle Revue d'Optique 7 165 (1976)
  488. Yang X et al Opt. Express 24 15079 (2016)
  489. Lin H et al Opt. Lett. 33 485 (2008)
  490. Warwick T et al AIP Conf. Proc. 1234 776 (2010)
  491. Yang X et al J. Synchrotron Rad. 24 168 (2017)
  492. Prasciolu M et al Opt. Express 23 15195 (2015)
  493. Levashov V E et al Opt. Commun. 109 1 (1994)
  494. Fechtchenko R M, Vinogradov A V, Voronov D L Opt. Commun. 210 179 (2002)
  495. Levashov V E, Vinogradov A V Appl. Opt. 32 1130 (1993)
  496. Voronov D L et al Proc. SPIE 7077 707708 (2008)
  497. Cruddace R G et al Phys. Scripta 41 396 (1990)
  498. Lixiang Y et al Phys. Scripta 51 680 (1995)
  499. Kleineberg U et al J. Electron Spectrosc. Related Phenom. 80 389 (1996)
  500. Seely J F et al Appl. Opt. 36 8206 (1997)
  501. Hellwege K-H Z. Phys. 106 588 (1937)
  502. Polack F et al AIP Conf. Proc. 879 489 (2007)
  503. Choueikani F et al Opt. Lett. 39 2141 (2014)
  504. Yang X et al Opt. Express 25 15988 (2017)
  505. Choueikani F et al J. Phys. Conf. Ser. 425 152007 (2013)
  506. Lagarde B et al J. Phys. Conf. Ser. 425 152012 (2013)
  507. Trost M et al Opt. Express 21 27852 (2013)
  508. Medvedev V V et al Opt. Express 21 16964 (2013)
  509. Pradhan P C et al Proc. SPIE 10386 1038605 (2017)
  510. van den Boogaard A J R et al Opt. Lett. 37 160 (2012)
  511. Kriese M et al Proc. SPIE 9048 90483C (2014)
  512. Liddle J A et al J. Vac. Sci. Technol. B 21 2980 (2003)
  513. van den Boogaard A J R et al Proc. SPIE 7271 72713B (2009)
  514. Huang Q et al Opt. Lett. 39 1185 (2014)
  515. Kang H C et al Appl. Phys. Lett. 86 151109 (2005)
  516. Huang Q et al Chinese Opt. Lett. 10 090501 (2012)
  517. Lynch S K, Liu C, Assoufid L Proc. SPIE 8076 80760F (2011)
  518. Lynch S K et al J. Micromech. Microeng. 22 105007 (2012)
  519. Bonse U, Hart M Appl. Phys. Lett. 6 155 (1965)
  520. Wen H et al Nature Commun. 4 2659 (2013)
  521. Wen H et al Philos. Trans. R. Soc. A 372 20130028 (2014)
  522. Momose A et al Jpn. J. Appl. Phys. 42 L866 (2003)
  523. Weitkamp T et al Opt. Express 13 6296 (2005)
  524. Kim J M et al Opt. Express 18 24975 (2010)
  525. Kirz J J. Opt. Soc. Am. 64 301 (1974)
  526. Bionta R M, Skulina K M, Weinberg J Appl. Phys. Lett. 64 945 (1994)
  527. Koyama T et al Rev. Sci. Instrum. 83 013705 (2012)
  528. Sanli U T et al Proc. SPIE 9592 95920F (2015)
  529. Mayer M et al Ultramicroscopy 111 1706 (2011)
  530. Yan H et al J. Phys. D 47 263001 (2014)
  531. Liese T et al Appl. Surf. Sci. 257 5138 (2011)
  532. Braun S et al J. Phys. Conf. Ser. 425 052019 (2013)
  533. Niese S et al Opt. Express 22 20008 (2014)
  534. Yan H et al Sci. Rep. 3 1307 (2013)
  535. Nazaretski E et al Rev. Sci. Instrum. 84 033701 (2013)
  536. Kubec A et al J. Synchrotron Rad. 21 1122 (2014)
  537. Yan H et al Phys. Rev. B 76 115438 (2007)
  538. Huang X et al Sci. Rep. 3 3562 (2013)
  539. Kang H C et al Phys. Rev. Lett. 96 127401 (2006)
  540. Conley R et al Rev. Sci. Instrum. 79 053104 (2008)
  541. Morgan A J et al Sci. Rep. 5 9892 (2015)
  542. Kubec A et al J. Synchrotron Rad. 24 413 (2017)
  543. Koyama T et al AIP Conf. Proc. 1365 24 (2011)
  544. Huang X et al Opt. Express 23 12496 (2015)
  545. Werner S et al Nano Res. 7 528 (2014)
  546. Bajt S et al Light Sci. Appl. 7 17162 (2017)
  547. Eriksson M, van der Veen J F, Quitmann C J. Synchrotron Rad. 21 837 (2014)
  548. Weckert E IUCrJ 2 230 (2015)
  549. Couprie M E J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 196 3 (2014)
  550. Ament L J P et al Rev. Mod. Phys. 83 705 (2011)
  551. Ade H, Stoll H Nature Mater. 8 281 (2009)
  552. Barty A, Küpper J, Chapman H N Annu. Rev. Phys. Chem. 64 415 (2013)
  553. Brif C, Chakrabarti R, Rabitz H New J. Phys. 12 075008 (2010)
  554. Bayraktar M et al J. Phys. D 45 494001 (2012)
  555. Bayraktar M et al Opt. Express 22 30623 (2014)
  556. Brejnholt N F et al Proc. SPIE 9144 914419 (2014)
© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение