Выпуски

 / 

2017

 / 

Февраль

  

Приборы и методы исследований


Возможности газофазного синтеза алмазных структур


Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе Сибирского отделения РАН, просп. Академика Лаврентьева 1, Новосибирск, 630090, Российская Федерация

До настоящего времени нет устоявшихся представлений о каналах формирования алмазных структур из газовой фазы. Набор фрагментов, определяющих этот процесс, различается для разных методов активации. Сведения об элементарных процессах взаимодействия молекул водорода, углеводородов и их фрагментов с поверхностями активации и поверхностями синтеза в литературе имеются, но весьма ограничены. Новые задачи исследований относятся не только к проблеме синтеза углеродных структур; важным является решение проблемы описания неравновесных процессов при течении газов в каналах с гетерогенными химическими реакциями. Представлено современное состояние и результаты исследований взаимодействия водорода, метана и их фрагментов с поверхностями вольфрама при высокой температуре и поверхностями алмаза при температуре в окрестности 1300 К.

Текст: pdf
Войдите или зарегистрируйтесь чтобы получить доступ к полным текстам статей.
Ключевые слова: газофазный синтез алмазных структур, взаимодействие молекул и атомов с поверхностью
PACS: 34.35.+a, 68.43.−h, 81.05.ug (все)
DOI: 10.3367/UFNr.2016.04.037794
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2017/2/e/
Цитата: Ребров А К "Возможности газофазного синтеза алмазных структур" УФН 187 193–200 (2017)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Поступила: 1 апреля 2016, доработана: 20 апреля 2016, 27 апреля 2016

English citation: Rebrov A K “Possibilities of gas phase synthesis of diamond structures from mixtures of hydrogen and hydrocarbonsPhys. Usp. 60 179–186 (2017); DOI: 10.3367/UFNe.2016.04.037794

Список литературы (58) ↓ Статьи, ссылающиеся на эту (12) Похожие статьи (11)

  1. Лейпунский О И Успехи химии 8 1519 (1939)
  2. Bundy F P et al. Nature 176 51 (1955)
  3. Angus J C, Will H A, Stanko W S J. Appl. Phys. 39 2915 (1968)
  4. Derjaguin B V et al. J. Cryst. Growth 2 380 (1968)
  5. Matsumoto S et al. Jpn. J. Appl. Phys. 21 L183 (1982)
  6. Emelyanov A, Rebrov A, Yudin I Phys. Status Solidi A 211 2279 (2014)
  7. Kurihara K et al. Appl. Phys. Lett. 52 437 (1988)
  8. Kamo M et al. J. Cryst. Growth 62 642 (1983)
  9. Седов В С и др. Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения 10 (1 - 2) 79 (2010)
  10. Вихарев А Л и др. ФТП 46 274 (2012); Vikharev A L et al. Semiconductors 46 263 (2012)
  11. Hirose Y, Amanuma S, Komaki K J. Appl. Phys. 68 6401 (1990)
  12. Konov V I et al. Appl. Phys. A 66 575 (1998)
  13. Dandy D S, Coltrin M E Diamond Films Handbook (Eds J Asmussen, D K Reinhard, Eds J Asmussen, D K Reinhard) (New York: Marcel Dekker, 2002), Ch. 4
  14. May P W Phil. Trans. R. Soc. Lond. A 358 473 (2000)
  15. Brenner D W, Shenderova O A Phil. Trans. R. Soc. Lond. A 373 20140139 (2015)
  16. Вавилов В С УФН 167 17 (1997); Vavilov V S Phys. Usp. 40 15 (1997)
  17. Хмельницкий Р А УФН 185 143 (2015); Khmelnitskii R A Phys. Usp. 58 134 (2015)
  18. Langmuir I "Surface chemistry" Chem. Rev. 13 147 (1933), Nobel Lecture, December 14, 1932
  19. Langmuir I, Mackay G M J J. Am. Chem. Soc. 36 1708 (1914)
  20. Withrow S P Ph.D. Thesis (Urbana, IL: Univ. of Illinois, 1975)
  21. Zheng W, Gallagher A Surf. Sci. 600 2207 (2006)
  22. Goodman D W, Ray R R Sandia Report 97185 (Albuquerque, NM: Sandia Natl. Lab., 1986)
  23. Johnson D F, Carter E A J. Mater. Res. 25 315 (2010)
  24. Sommer M, Smith F W J. Mater. Res. 5 2433 (1990)
  25. Otsuka T, Ihara M, Komiyama H J. Appl. Phys. 77 893 (1995)
  26. Qi X, Chen Z, Wang G J. Mater. Sci. Technol. 19 235 (2003)
  27. Smith J N (Jr.), Fite W L J. Chem. Phys. 37 898 (1962)
  28. Кошмаров Ю А Конспект лекций по курсу "Теплопередача" (М.: МАИ, 1972) с. 164-166
  29. May P W et al. Appl. Surf. Sci. 68 299 (1993)
  30. Eckert M, Neyts E, Bogaerts A J. Phys. D 41 032006 (2008)
  31. Winters H F J. Chem. Phys. 62 2454 (1975)
  32. German E D, Sheintuch M J. Phys. Chem. C 117 22811 (2013)
  33. Rettner C T, Pfnür H E, Auerbach D J Phys. Rev. Lett. 54 2716 (1985)
  34. Rettner C T, Pfnür H E, Auerbach D J J. Chem. Phys. 84 4163 (1986)
  35. Choudhary T V, Aksoylu E, Goodman D W Catalysis Rev. Sci. Eng. 45 151 (2003)
  36. Suárez M P, Löffler D G React. Kinet. Catal. Lett. 23 (1-2) 191 (1983)
  37. Goodwin D G, Gavillet G G J. Appl. Phys. 68 6393 (1990)
  38. Zumbach V et al. J. Chem. Phys. 107 5918 (1997)
  39. Olivas-Martínez M et al. Model. Simul. Mater. Sci. Eng. 15 237 (2007)
  40. Battaile C C, Srolovitz D J Annu. Rev. Mater. Res. 32 297 (2002)
  41. Kurihara K, Sasaki K, Kawarda M Mater. Manufact. Proc. 6 241 (1991)
  42. Yu B W, Girshick S L J. Appl. Phys. 75 3914 (1994)
  43. Dandy D S, Coltrin M E J. Mater. Res. 10 1993 (1995)
  44. Reeve S V, Weimer W A, Dandy D S J. Mater. Res. 11 695 (1996)
  45. Mankelevich Yu A, May P W Diamond Related Mater. 17 1021 (2008)
  46. Schwaederlé L et al. Plasma Proces. Polymers 12 764 (2015)
  47. von Keudell A, Meier M, Schwarz-Selinger T Appl. Phys. A 72 551 (2001)
  48. von Keudell A Thin Solid Films 402 1 (2002)
  49. Mutsukura N, Inoue S, Machi Y J. Appl. Phys. 72 43 (1992)
  50. Meier M, Preuss R, Dose V New J. Phys. 5 133 (2003)
  51. Alfonso D R, Ulloa S E, Brenner D W Phys. Rev. B 49 4948 (1994)
  52. Deák P et al. Appl. Phys. Lett. 90 051503 (2007)
  53. Krasnoperov L N et al. J. Phys. Chem. 97 11787 (1993)
  54. Träskelin P, Saresoja O, Nordlund K J. Nucl. Mater. 375 270 (2008)
  55. Eckert M, Neyts E, Bogaerts A Chem. Vapor Deposition 14 213 (2008)
  56. Kang K N Dissertation (Baton Rouge, LA: Louisiana State Univ., 2012)
  57. Rebrov A, Yudin I Phys. Status Solidi C 12 886 (2015)
  58. Plotnikov M Yu, Shkarupa E V Vaccum 129 31 (2016)

© Успехи физических наук, 1918–2019
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение