Представлено современное состояние неразрушающих исследований полупроводниковых структур с квантовыми точками (КТ) в рамках метода высокоразрешающей рентгеновской дифрактометрии. С позиций формализма статистической теории дифракции рассмотрено когерентное и диффузное рассеяние рентгеновских лучей в кристаллических системах с нановключениями. Продемонстрировано влияние формы, упругих деформаций, латеральной и вертикальной корреляции КТ на угловое распределение диффузного рассеяния вблизи узла обратной решётки. На примере короткопериодных и многокомпонентных сверхрешёток с КТ показана эффективность модельного подхода для количественного анализа наноструктурированных материалов с использованием экспериментальных данных.

Ключевые слова: высокоразрешающая рентгеновская дифракция, когерентное и диффузное рассеяние, сверхрешётка, квантовые точки PACS: 61.05.C−, 68.65.−k (все) DOI: 10.3367/UFNr.0185.201505a.0449 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2015/5/a/ 000360073200001 2-s2.0-84938884127 2015PhyU...58..419P Цитата: Пунегов В И "Высокоразрешающая рентгеновская дифракция в кристаллических структурах с квантовыми точками" УФН 185 449–478 (2015) BibTexBibNote ® (generic) BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks Русский English TY JOUR TI High-resolution X-ray diffraction in crystalline structures with quantum dots AU Punegov, V. I. PB Uspekhi Fizicheskikh Nauk PY 2015 JO Uspekhi Fizicheskikh Nauk JF Uspekhi Fizicheskikh Nauk JA Usp. Fiz. Nauk VL 185 IS 5 SP 449-478 UR https://ufn.ru/ru/articles/2015/5/a/ ER https://doi.org/10.3367/UFNr.0185.201505a.0449 Поступила: 9 января 2015, доработана: 8 февраля 2015, одобрена в печать: 10 февраля 2015 English citation: Punegov V I “High-resolution X-ray diffraction in crystalline structures with quantum dots” Phys. Usp. 58 419–445 (2015); DOI: 10.3367/UFNe.0185.201505a.0449