Научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук (31 января 2007 г.)
К.Н. Кошелева,
В.Е. Банинб,
Н.Н. Салащенков,
В.И. Балыкина,
Ю.Е. Лозовика,
А.М. Попова аИнститут спектроскопии РАН, ул. Физическая 5, Троицк, Москва, 108840, Российская Федерация бASML Netherlands B.V., De Run 6501, Veldhoven, 5504, The Netherlands вИнститут физики микроструктур РАН, ул. Ульянова 46, Нижний Новгород, 603950, Российская Федерация
31 января 2007 г. в конференц-зале Физического института им. П.Н. Лебедева РАН состоялась Научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук. На сессии были заслушаны доклады:
1. Кошелев К.Н. (Институт спектроскопии РАН, г. Троицк, Московская обл.), Банин В.Е. (ASML, Veldhoven, Нидерланды), Салащенко Н.Н. (Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород). Работы по созданию источников коротковолнового излучения для нового поколения литографии.
2. Балыкин В.И. (Институт спектроскопии РАН, г. Троицк, Московская обл.). Атомно-проекционная параллельная фабрикация наноструктур.
3. Лозовик Ю.Е., Попов А.М. (Институт спектроскопии РАН, г. Троицк, Московская обл.). Свойства и нанотехнологические применения нанотрубок
Публикуется краткое содержание докладов.
DOI:10.3367/UFNr.0177.200707g.0777 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2007/7/g/ 2-s2.0-35948961904 2007PhyU...50..741K Цитата: Кошелев К Н, Банин В Е, Салащенко Н Н, Балыкин В И, Лозовик Ю Е, Попов А М "Научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук (31 января 2007 г.)" УФН177 777–780 (2007)
TY JOUR
TI Scientific session of the Physical Sciences Division of the Russian Academy of Sciences (31 January 2007)
AU Koshelev, K. N.
AU Banine, V. E.
AU Salashchenko, N. N.
AU Balykin, V. I.
AU Lozovik, Yu. E.
AU Popov, A. M.
PB Uspekhi Fizicheskikh Nauk
PY 2007
JO Uspekhi Fizicheskikh Nauk
JF Uspekhi Fizicheskikh Nauk
JA Usp. Fiz. Nauk
VL 177
IS 7
SP 777-780
UR https://ufn.ru/ru/articles/2007/7/g/
ER https://doi.org/10.3367/UFNr.0177.200707g.0777