Рассмотрены процессы в потоке магнетронной плазмы, протекающие с участием атомов и кластеров металла. Представлены процессы образования атомов металла вблизи катода и их нуклеации в потоке буферного газа. Прокачка буферного газа с кластерами через магнетронную камеру сопровождается нарушением равновесия между потоком буферного газа и кластерами вблизи выходного отверстия и прилипанием кластеров к стенкам. Проанализированы процессы зарядки кластеров вдали от катода, нарушение равновесия между потоком и кластерами, а также прилипание заряженных кластеров к стенкам камеры. Эти процессы определяют выходные параметры кластерного пучка из магнетронной камеры. Представлен характер напыления кластеров на мишень, которой является как твердая поверхность, так и частицы пылевой плазмы.

PACS: 36.40.−c, 52.80.Sm, 61.46.Bc (все) DOI: 10.3367/UFNr.0177.200705a.0473 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2007/5/a/ 000249374100001 2-s2.0-34548594195 2007PhyU...50..455K Цитата: Каштанов П В, Смирнов Б М, Хипплер Р "Магнетронная плазма и нанотехнология" УФН 177 473–510 (2007) BibTex BibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks Русский English %0 Journal Article %T Magnetron plasma and nanotechnology %A P. V. Kashtanov %A B. M. Smirnov %A R. Hippler %I Uspekhi Fizicheskikh Nauk %D 2007 %J Usp. Fiz. Nauk %V 177 %N 5 %P 473-510 %U https://ufn.ru/ru/articles/2007/5/a/ %U https://doi.org/10.3367/UFNr.0177.200705a.0473 English citation: Kashtanov P V, Smirnov B M, Hippler R “Magnetron plasma and nanotechnology” Phys. Usp. 50 455–488 (2007); DOI: 10.1070/PU2007v050n05ABEH006138