RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 12, 2024
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2002

 / 

Март

←  →

Обзоры актуальных проблем


Избранные задачи теории лазерной абляции

 а,  б
а Институт теоретической физики им. Л.Д. Ландау РАН, просп. Академика Семенова 1А, Черноголовка, Московская обл., 142432, Российская Федерация
б Институт общей физики им. А.М. Прохорова Российской академии наук, ул. Вавилова 38, Москва, 119991, Российская Федерация

Обсуждаются физические механизмы и теоретические модели лазерной абляции. Рассматриваются качественные явления, характерные для различных механизмов, методы их количественного исследования. Приводятся результаты расчетов кинетики абляции некоторых материалов, проводится их сравнение с экспериментальными данными

Текст pdf (937 Кб)
English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU2002v045n03ABEH000966
PACS: 42.55.Ah, 79.20.Ds, 81.15.Fg (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0172.200203b.0301
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2002/3/b/
000176867200002
Цитата: Анисимов С И, Лукьянчук Б С "Избранные задачи теории лазерной абляции" УФН 172 301–333 (2002)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Anisimov S I, Luk’yanchuk B S “Selected problems of laser ablation theory” Phys. Usp. 45 293–324 (2002); DOI: 10.1070/PU2002v045n03ABEH000966

Список литературы (188) ↓ Статьи, ссылающиеся на эту (276) Похожие статьи (20)

  1. Paine D C, Bravman J C (Eds) Laser Ablation for Materials Synthesis (MRS Symp. Proc., Vol. 191) (Pittsburgh, Pa.: Materials Res. Soc., 1990)
  2. Miller J C, Haglund R F (Jr, Eds) Laser Ablation: Mechanisms and Applications (Lecture Notes in Physics, Vol. 389) (Berlin: Springer-Verlag, 1991)
  3. Fogarassy E, Lazare S (Eds) Laser Ablation of Electronic Materials: Basic Mechanisms and Applications (Proc. European Materials Res., Vol. 4) (Amsterdam: North-Holland, 1992)
  4. Miller J C (Ed.) Laser Ablation: Principles and Applications (Springer Series in Mater. Sci., Vol. 28) (Berlin: Springer-Verlag, 1994)
  5. Fogarassy E, Geohegan D, Stuke M (Eds) Laser Ablation (Proc. European Materials Res., Vol. 55) (Amsterdam: Elsevier, 1996)
  6. Russo R et al. (Eds) Laser Ablation: Proc. of the Fourth Intern. Conf. on Laser Ablation, COLA-IV (Amsterdam: North-Holland, 1998)
  7. Phipps C R (Ed.) High-Power Laser Ablation (Proc. SPIE, Vol. 3343, Ed. ) (Bellingham, Wash.: SPIE, 1998); Phipps C R (Ed.) High-Power Laser Ablation (Proc. SPIE, Vol. 3885) (Bellingham, Wash.: SPIE, 2000); Phipps C R (Ed.) High-Power Laser Ablation (Proc. SPIE, Vol. 4065) (Bellingham, Wash.: SPIE, 2000)
  8. Srinivassan R Laser Ablation: Principles and Applications (Springer Series in Mater. Sci., Vol. 28, Ed. J C Miller) (Berlin: Springer-Verlag, 1994) p. 107
  9. Прохоров А М (Гл. ред.) Советский энциклопедический словарь 4-е изд. (М.: Сов. энциклопедия, 1989)
  10. Bäuerle D Laser Processing and Chemistry 3rd ed. (Berlin: Springer, 2000)
  11. Новожилов В В ДАН СССР 270 831 (1983)
  12. Sobol E N Phase Transformations and Ablation in Laser-Treated Solids (New York: Wiley, 1995)
  13. Bäuerle D et al. Laser Ablation of Electronic Materials: Basic Mechanisms and Applications (Proc. European Materials Res., Vol. 4, Eds E Fogarassy, S Lazare) (Amsterdam: North-Holland, 1992) p. 39
  14. Bäuerle D et al. Excimer Lasers (NATO ASI Series, Ser. E, Vol.265, Ed. L D Laude) (Dordrecht: Kluwer Academic Publ., 1994) p. 39
  15. Ельяшевич М А и др. "Разрушение металлов под действием излучения оптического квантового генератора" Отчет Ин-та физики АН БССР №КЭ-14 (Минск: Инст. физики АН БССР, 1963)
  16. Анисимов С И и др. Действие излучения большой мощности на металлы (Под ред. А М Бонч-Бруевича, М А Ельяшевича) (М.: Наука, 1970)
  17. Ready J F Effects of High-Power Laser Radiation (New York: Academic Press, 1971)
  18. Анисимов С И и др. ЖТФ 36 1273 (1966)
  19. Анисимов С И ТВТ 6 110 (1968)
  20. Любов Б Я, Соболь Э Н Действие концентрированных потоков энергии на материалы (Под ред. Н Н Рыкалина) (М.: Наука, 1985) с. 226
  21. Любов Б Я, Соболь Э Н ИФЖ 45 670 (1983)
  22. Preuss S, Demchuk A, Stuke M Appl. Phys. A 61 33 (1995)
  23. Krueger J, Kautek W Appl. Surf. Sci. 96-98 430 (1996)
  24. Rosenfeld A, Campbell E E B Appl. Surf. Sci. 96-98 439 (1996)
  25. Cavalleri A et al. Appl. Phys. Lett. 72 2385 (1998)
  26. Haglund R F (Jr) Laser Ablation and Desorption (Experimental Methods in the Physical Sciences, Vol. 30, Eds J C Miller, R F Haglund (Jr)) (San Diego: Academic Press, 1998) p. 15
  27. Gray D E (Ed.) American Institute of Physics Handbook 3rd ed. (New York: McGraw-Hill, 1972)
  28. Kuper S, Brannon J, Brannon K Appl. Phys. A 56 43 (1993)
  29. Luk'yanchuk B et al. Excimer Lasers (NATO ASI Series, Ser. E, Vol. 265, Ed. L D Laude) (Dordrecht: Kluwer Academic Publ., 1994) p. 59
  30. Arnold N, Luk'yanchuk B, Bityurin N Appl. Surf. Sci. 127-129 184 (1998)
  31. Brunco D P et al. J. Appl. Phys. 72 4344 (1992)
  32. Arnold N et al. Laser Phys. 8 47 (1998)
  33. Arnold N et al. Proc. SPIE 3343 484 (1998)
  34. Воробьев Ю В Метод моментов в прикладной математике (М.: Физматгиз, 1958)
  35. Самарский А А и др. Режимы с обострением в задачах для квазилинейных параболических уравнений (М.: Наука, 1987)
  36. Zwillinger D Handbook of Differential Equations (Boston: Academic Press, 1989)
  37. Kirchhoff G Vorlesungen über die Theorie der Wärme (1949)
  38. Wolfram S The Mathematica Book 4th ed. (Champaign, IL: Wolfram Media, 1999)
  39. Goetz T, Stuke M Appl. Phys. A 64 539 (1997)
  40. Андронов А А, Витт А А, Хайкин С Э Теория колебаний 3-е изд. (М.: Наука, 1981)
  41. Зельдович Я Б и др. Математическая теория горения и взрыва (М.: Наука, 1980)
  42. Баренблатт Г И Подобие, автомодельность, промежуточная асимптотика 2-е изд. (Л.: Гидрометеоиздат, 1982)
  43. Франк-Каменецкий Д А Диффузия и теплопередача в химической кинетике 2-е изд. (М.: Наука, 1967)
  44. Anisimov S I, Khokhlov V A Instablities in Laser-Matter Interaction (Boca Raton, Fla.: CRC Press, 1995)
  45. Анисимов С И, Иногамов Н А, Опарин А М Изв. РАН МЖГ (6) 149 (1999); Анисимов С И, Иногамов Н А, Опарин А М ЖТФ 36 1273 (1966)
  46. Анисимов С И, Капелиович Б Л, Перельман Т Л ЖЭТФ 66 776 (1974)
  47. Fujimoto J G et al. Phys. Rev. Lett. 53 1837 (1984)
  48. Wang X Y et al. Phys. Rev. B 50 8016 (1994)
  49. Sun C-K et al. Phys. Rev. B 50 15337 (1994)
  50. Groeneveld R H M, Sprik R, Lagendijk A Phys. Rev. B 51 11433 (1995)
  51. Hohlfeld J et al. Appl. Phys. B 64 387 (1997)
  52. Фальковский Л А, Мищенко Е Г ЖЭТФ 88 84 (1999)
  53. Анисимов С И, Рэтфелд Б Изв. РАН Сер. Физ. 61 1642 (1997)
  54. Gudde J et al. Appl. Surf. Sci. 127-129 40 (1998)
  55. Wellershoff S-S et al. Appl. Phys. A 69 (Suppl.) S99 (1999)
  56. Luk'yanchuk B S, Anisimov S I, Lu Y F Proc. SPIE 4423 141 (2001)
  57. Rethfeld B et al. Appl. Phys. A 69 (Suppl.) S109 (1999)
  58. Anisimov S I, Makshantsev B I, Barsukov A V Opt. Acoust. Rev. 1 251 (1991)
  59. Батанов В А и др. ЖЭТФ 63 586 (1972)
  60. Анисимов С И, Гальбурт В А, Фишер В И Письма в ЖТФ 1 321 (1975)
  61. Кикоин И К, Сенченков А П ФММ 24 843 (1967)
  62. Кикоин И К и др. ЖЭТФ 49 129 (1965)
  63. Hensel F, Franck E U Rev. Mod. Phys. 40 697 (1968)
  64. Коршунов Ю С и др. ТВТ 8 1288 (1970)
  65. Алексеев В А и др. Письма в ЖЭТФ 12 207 (1970)
  66. Franck E U, Hensel F Phys. Rev. 147 109 (1966)
  67. Алексеев В А, Андреев А А, Прохоренко В Я УФН 106 393 (1972)
  68. Альтшулер Л В УФН 85 197 (1965)
  69. Трунин Р Ф (Ред.) Свойства конденсированных веществ при высоких давлениях и температурах (Саров: ВНИИЭФ, 1992)
  70. Shaner J W, Gathers G R UCRL Report 79586 (Livermore, 1977)
  71. Бушман А В, Ломоносов И В, Фортов В Е Уравнения состояния металлов при высоких плотностях энергии (Черноголовка, 1992)
  72. Bennet B I et al. LANL Report LA-7130 (1978)
  73. More R M et al. Phys. Fluids 31 3059 (1988)
  74. Бушман А В, Фортов В Е УФН 140 177 (1983)
  75. Анисимов С И и др. ЖТФ 49 512 (1979)
  76. Зельдович Я Б, Райзер Ю П Физика ударных волн и высокотемпературных гидродинамических явлений (М.: Наука, 1966)
  77. Ландау Л Д, Лифшиц Е М Статистистическая физика Т. 1 (М.: Наука, 1995)
  78. Фортов В Е, Дремин А Н, Леонтьев А А ТВТ 13 1072 (1975)
  79. Смирнов Б М ДАН СССР 195 75 (1970)
  80. Varel H et al. Appl. Phys. A 65 367 (1997)
  81. Kautek W et al. "Bio-medical applications of sub-picosecond laser ablation" 5th Intern. Conf. on Laser Ablation, Goettingen, July 19 - 23, 1999 (Book of Abstracts, 1999) p. 63
  82. Каганов М И, Лифшиц И М, Танатаров Л В ЖЭТФ 31 242 (1956)
  83. Анисимов С И, Бендерский В А, Фаркаш Д УФН 122 185 (1977)
  84. Канторович И И Письма в ЖЭТФ 3 230 (1977)
  85. Girardeau-Montaut J P, Girardeau-Montaut C Phys. Rev. B 51 13560 (1995)
  86. Агранат М Б, Анисимов С И, Макшанцев Б И ФТТ 29 3433 (1987)
  87. Agranat M B, Anisimov S I, Makshantsev B I Appl. Phys. B 47 289 (1988)
  88. Agranat M B, Anisimov S I, Makshantsev B I Appl. Phys. B 55 451 (1992)
  89. Анисимов С И, Прохоров А М, Фортов В Е УФН 142 395 (1984)
  90. Von der Linde D, Sokolowski-Tinten K, Bialkowski J Appl. Surf. Sci. 109-110 1 (1996)
  91. Sokolowski-Tinten K et al. Proc. SPIE 3343 46 (1998)
  92. Sokolowski-Tinten K et al. Phys. Rev. Lett. 81 224 (1998)
  93. Иногамов Н А и др. Письма в ЖЭТФ 69 284 (1999)
  94. Иногамов Н А, Анисимов С И, Ретфельд Б ЖЭТФ 115 2091 (1999)
  95. Anisimov S I et al. Appl. Phys. A 69 617 (1999)
  96. Ландау Л Д, Лифшиц Е М Гидродинамика (М.: Наука, 1988)
  97. Luk'yanchuk B et al. Appl. Phys. A 57 367 (1993)
  98. Luk'yanchuk B et al. Appl. Phys. A 57 449 (1993)
  99. Luk'yanchuk B et al. Appl. Phys. A 62 397 (1996)
  100. Luk'yanchuk B et al. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 122 347 (1997)
  101. Luk'yanchuk B et al. Proc. SPIE 3343 58 (1998)
  102. Плотников В Г ДАН СССР 301 376 (1988)
  103. Frisoli J K, Hefetz Y, Deutsch T F Appl. Phys. B 52 168 (1991)
  104. Aksenov V P et al. Proc. SPIE 4423 70 (2001)
  105. Bityurin N et al. Proc. SPIE 2802 103 (1996)
  106. Luk'yanchuk B et al. Appl. Surf. Sci. 108 120 (1996)
  107. Himmelbauer M et al. Proc. SPIE 3093 220 (1997)
  108. Bityurin N et al. Appl. Surf. Sci. 127-129 164 (1998)
  109. Arnold N, Bityurin N Appl. Phys. A 68 615 (1999)
  110. Malyshev A Y, Bityurin N M Proc. SPIE 4423 218 (2001)
  111. Аксахалян А Д и др. ЖТФ 58 1885 (1988)
  112. Venkatesan T et al. Appl. Phys. Lett. 52 1193 (1998)
  113. Afonso C N et al. Appl. Sci. 46 249 (1990)
  114. Kools J C S et al. J. Appl. Phys. 71 4547 (1992)
  115. Miotello A et al. Appl. Phys. Lett. 61 2784 (1992)
  116. Anisimov S I, Bäuerle D, Luk'yanchuk B S Phys. Rev. B 48 12076 (1993)
  117. Singh R K, Narayan J Phys. Rev. B 41 8843 (1990)
  118. Басов Н Г и др. ЖЭТФ 51 969 (1966)
  119. Hansen T N, Schou J, Lunney J G Appl. Phys. A 69 S601 (1999)
  120. Аксахалян А Д и др. Препринт (Горький: ИПФ АН СССР, 1981)
  121. Geohegan D B Thin Solid Films 220 138 (1992)
  122. Matzen M K, Morse R L Phys. Fluids 22 654 (1979)
  123. Овсянников Л В ДАН СССР 111 47 (1956)
  124. Седов Л И ДАН СССР 90 735 (1953)
  125. Dyson F J J. Math. Mech. 18 91 (1968)
  126. Dawson J M, Kaw P, Green B Phys. Fluids 12 875 (1969)
  127. Немчинов И В ПММ 29 134 (1965)
  128. Анисимов С И, Лысиков Ю И ПММ 34 926 (1970)
  129. Анисимов С И, Лукьянчук Б С, Лучес А ЖЭТФ 108 240 (1995)
  130. Богоявленский О И Методы качественной теории динамических систем в астрофизике и газовой динамике (М.: Наука, 1980), Гл. 7
  131. Овсянников Л В Лекции по основам газовой динамики (М.: Наука, 1981)
  132. Kelly R, Miotello A Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 91 82 (1994)
  133. Tyunina M et al. Appl. Surf. Sci. 96-98 831 (1996)
  134. Karas M, Hillenkamp F Anal. Chem. 60 2299 (1988)
  135. Berkenkamp S, Kirpekar F, Hillenkamp F Science 281 260 (1998)
  136. Vertes A, Gijbels R, Adams F Laser Ionization Mass Analysis (New York: Wiley, 1993)
  137. Fu D J et al. Nature Biotechnol. 16 381 (1998)
  138. Puretzky A A et al. Phys. Rev. Lett. 83 444 (1999)
  139. Luk'yanchuk B S et al. Proc. SPIE 4070 166 (2000)
  140. Beavis R C, Chait B T Chem. Phys. Lett. 181 479 (1991)
  141. Stanyukovich K P Unsteady Motion of Continuous Media (New York: Pergamon Press, 1960)
  142. Branen B, Casey K G, Kelly R Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 58 463 (1991)
  143. Werwa E et al. Appl. Phys. Lett. 64 1821 (1994)
  144. Marine W et al. Advanced Laser Processing of Materials: Fundamentals and Applications (MRS Symp. Proc., Vol. 397, Eds R Singh et al.) (Pittsburgh, Pa.: Materials Res. Soc., 1996) p. 365
  145. Movtchan A et al. Appl. Surf. Sci. 96-98 251 (1996)
  146. Yamada Y et al. Jpn. J. Appl. Phys. 35 1361 (1996)
  147. Makimura T, Kunii Y, Murakami K Jpn. J. Appl. Phys. 35 4780 (1996)
  148. Li S, Silvers S J, El-Shall M S J. Phys. Chem. B 101 1794 (1996)
  149. Serna R, Afonso C N Appl. Phys. Lett. 69 1541 (1996)
  150. Muramoto J et al. Jpn. J. Appl. Phys. 36 L563 (1997)
  151. Marine W, Luk'yanchuk B, Sentis M Le Vide Sci. Tech. Appl. 288 440 (1998)
  152. Geohegan D B et al. Appl. Phys. Lett. 72 2987 (1998); Geohegan D B et al. Appl. Phys. Lett. 73 371 (1998)
  153. Wood R F et al. Appl. Surf. Sci. 127-129 151 (1998)
  154. Muramoto J et al. Appl. Surf. Sci. 127-129 373 (1998)
  155. Yoshida T et al. Appl. Phys. Lett. 68 4780 (1999)
  156. Lowndress D H et al. J. Mater. Res. 14 359 (1999)
  157. Makimura T, Mizuta T, Murakami K Appl. Phys. Lett. 76 1401 (2000)
  158. Muramoto J et al. Appl. Phys. Lett. 77 2334 (2000)
  159. Marine W et al. Appl. Surf. Sci. 154-155 345 (2000)
  160. Райзер Ю П ЖЭТФ 37 1229 (1960)
  161. von Becker R, Döring W Ann. Physik 24 719 (1935)
  162. Kramers H A Physica 7 284 (1940)
  163. Зельдович Я Б ЖЭТФ 12 525 (1942)
  164. Френкель Я И "Кинетическая теория жидкостей" Собрание избранных трудов Т. 3 (М.-Л.: Изд-во АН СССР, 1959)
  165. Luk'yanchuk B, Marine W, Anisimov S I Laser Phys. 8 291 (1998)
  166. Luk'yanchuk B et al. Proc. SPIE 3618 434 (1999)
  167. Kuwata M, Luk'yanchuk B, Yabe T Proc. SPIE 4065 441 (2000)
  168. Luk'yanchuk B S et al. Proc. SPIE 4070 154 (2000)
  169. Лифшиц Е М, Питаевский Л П Физическая кинетика (М.: Наука, 1979)
  170. Gunton J D, San Miguel M, Sahni P S Phase Transitions and Critical Phenomena Vol. 8 (Eds C Domb, J L Lebowitz) (New York: Academic Press, 1983) p. 267
  171. Bashkirov A G Nonequilibrium Statistical Mechanics of Heterogeneous Fluid Systems (Boca Raton, FL: CRC Press, 1995)
  172. Григорьев И С, Мейлихов Е З (Ред.) Физические величины. Справочник (М.: Энергоатомиздат, 1991)
  173. Luk'yanchuk B S, Marine W Appl. Surf. Sci. 154-155 314 (2000)
  174. Luk'yanchuk B S, Marine W Proc. SPIE 3885 182 (2000)
  175. Le H C et al. Appl. Surf. Sci. 96-98 164 (1995)
  176. Wautelet M J. Phys. D 24 343 (1991)
  177. Смирнов Б М УФН 164 1165 (1994)
  178. Goldstein A N Appl. Phys. A 62 37 (1996)
  179. Rosenbauer M et al. Phys. Rev. B 51 10539 (1995)
  180. Rosenbauer M et al. Phys. Rev. B 51 10539 (1995)
  181. Umezu I et al. J. Appl. Phys. 84 6448 (1998)
  182. Прохоров А М и др. Взаимодействие лазерного излучения с металлами (М.: Наука, 1988)
  183. Афанасьев Ю В, Крохин О Н ЖЭТФ 52 966 (1967)
  184. Афанасьев Ю В, Крохин О Н Труды ФИАН 52 118 (1970)
  185. Afanasiev Yu V et al. J. Rus. Laser Res. 21 505 (2000)
  186. Afanasiev Yu V et al. J. Rus. Laser Res. 20 489 (1999)
  187. Afanasiev Yu V et al. J. Rus. Laser Res. 20 189 (1999)
  188. Afanasiev Yu V et al. J. Rus. Laser Res. 20 89 (1999)
© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение