RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 11, 2024
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

1992

 / 

Январь

←  →

Физика наших дней


Теория распыления


La Revista del Nuovo Cinwnto. 1990. V. 13, No. 1. Pp. 1 — 52

Содержание
Исторический обзор и теоретический аппарат. — Распыление как поверхностное явление. — Унифицированная теория распыления.

Текст pdf (727 Кб)
DOI: 10.3367/UFNr.0162.199201c.0071
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1992/1/c/
Цитата: Фальконе Д "Теория распыления" УФН 162 (1) 71–117 (1992)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks
Список литературы (110) ↓ Статьи, ссылающиеся на эту (8)

  1. Grove W R Trans. Roy. Soc. London 142 87 (1852)
  2. Wehner G K Phys. Rev. 93 633 (1954)
  3. Massey H S W J. Appl. Phys. 25 270 (1954)
  4. Oliva A ASI — NATO — Portugal (1987)
  5. Varga P., Betz G., Viehbock F.P. (Eds) Symposium on Sputtering. Inst. für allgem. Physik (Wien: technische Universität, 1980)
  6. Behrisch R. (Ed.) Sputtering by Ion Bombardment I (Berlin: Springer-Verlag, 1981); Перевод, Бериш Р (Ред.) Распыление твердых тел ионной бомбардировкой (М.: Мир, 1984)
  7. Behrisch R. (Ed.) Sputtering by Ion Bombardment II (Berlin: Springer-Verlag, 1983); Перевод, Бериш Р (Ред.) Распыление твердых тел ионной бомбардировкой Вып. II (М.: Мир, 1986)
  8. Thompson D.A. Rad. Eff. 56 105 (1981)
  9. Thompson M.W. Phys. Rep. 69 335 (1981)
  10. Claussen C. Thesis (University of Odense, 1982)
  11. Harrison D.E. (Jr.) Rad. Eff. 70 1 (1983)
  12. Kelly R. Rad. Eff. 80 273 (1984)
  13. Biersack J.P., Eckstein W. Appl. Phys. A 34 78 (1984)
  14. Tompson M.W. Phil. Mag. 18 377 (1968)
  15. Sigmund P. Phys. Rev. 184 383 (1969)
  16. Falcone G., Sigmund P. Appl. Phys. 25 307 (1981)
  17. Falcone G. Surf. Sci. 187 212 (1987)
  18. Falcone G., Gullo F. Phys. Lett. A 125 432 (1987)
  19. Falcone G. Phys. Lett. A 129 188 (1988)
  20. Falcone G. Phys. Lett. A 38 6398 (1988)
  21. Keywell F. Phys. Rev. 87 160 (1952)
  22. Keywell F. Phys. Rev. 97 1611 (1955)
  23. Fermi E. Nuclear Physics (Chicago: University of Chicago Press, 1950)
  24. Selitz F. Disc Farad. Soc. 5 271 (1949); Перевод, Зейтц Ф. "О нарушенном порядке в твердых телах под действием быстрых тяжелых частиц" Действие излучений на полупроводники и изоляторы (Под ред. С М Рывкина) (М.: ИЛ, 1954) с. 9, Сб. переводов
  25. Harrison D.E. Phys. Rev. 102 1473 (1956)
  26. Lindhard J., Scharff M., Schiott H. Mat.-Fys. Medd. K. Dan. Vidensk. Selsk. 33 1 (1963)
  27. Lindhard J., Nielsen V., Scharff M., Thomsen P.W. Mat.-Fys. Medd. K. Dan. Vidensk. Selsk. 33 1 (1963)
  28. Lindhard J., Nielsen V., Scharff M. Mat.-Fys. Medd. K. Dan. Vidensk. Selsk. 36 1 (1963)
  29. Bohr N. Mat.-Fys. Medd. K. Dan. Vidensk. Selsk. 18 1 (1948); Перевод, Бор Н. Прохождение заряженных частиц через вещество (М.: ИЛ, 1950)
  30. Hartree D. Proc. Cambridge Phil. Soc. 24 89 (1928)
  31. Fock V. Z. Phys. 61 126 (1930)
  32. Thomas L. Proc. Cambridge Phil. Soc. 23 542 (1927)
  33. Fermi E. Z. Phys. 48 73 (1928)
  34. Фирсов О.Б. ЖЭТФ 32 1464 (1957)
  35. Фирсов О.Б. ЖЭТФ 33 696 (1957)
  36. Gombas P. Encyclipedia of Physics (Berlin: Springer-Verlag, 1956) p. 109
  37. Ландау Л Д, Лифшиц Е М Механика 3-е изд. (М.: Физматгиз, 1965)
  38. Lehmann C. Interaction of Radiation with Solids (Amsterdam: North-Holland, 1977); Перевод, Лейман К. Взаимодействие излучения с твердым телом и образование элементарных дефектов (М.: Атомиздат, 1979)
  39. Abramowitz F., Stegun J.A. (Eds) Handbook of Mathematical Functions (New York: Dover, 1972); Перевод, Абрамовиц М, Стиган И (Ред.) Справочник по специальным функциям с формулами, графиками и математическими таблицами (М.: Наука, 1979)
  40. Sigmund J. Rev. Roum. Phys. 17 823 (1972)
  41. Кумахов М А, Комаров Ф Ф Энергетические потери и пробеги ионов в твердых телах (Минск: Изд-во Белгосуниверситета, 1979)
  42. Lindhard J., Scharff M. Phys. Rev. 124 128 (1961)
  43. Winterbon K.B., Sigmund P., Sanders J.B. Mat.-Fys. Medd. K. Dan Vidensk Selsk. 37 1 (1970)
  44. Sigmund P. Rev. Roum. Phys. 17 969 (1972)
  45. Brandt W., Laubert R Nucl. Instr. Meth. 47 201 (1967)
  46. Andersen H.H., Bay H.L. Sputtering by Ion Bombardment I (Ed. R Behrisch) (Berlin: Springer-Verlag, 1981) p. 145; Перевод, Andersen H.H., Bay H.L. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой (Под ред. Р Бериша) (М.: Мир, 1984) с. 194
  47. Sigmund P. Sputtering by Ion Bombardment I (Ed. R Behrisch) (Berlin: Springer-Verlag, 1981) p. 8; Перевод, Sigmund P. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой (Под ред. Р Бериша) (М.: Мир, 1984) с. 23
  48. Sigmitnd P. "Theory of Sputtering", не опубликовано
  49. Eckstein W. Nucl. Instr. Meth. B 18 344 (1987)
  50. DumkeM.F., Tombrello T.A., Welter R.A, Housley R.M., Cirling E.C. Surt. Sci. 124 474 (1983)
  51. Morita K., Tsuchiya T., Hayashibara M., Jtoh N. J. Nucl. Mater. 116 63 (1983)
  52. Marita D., Ohno H., Hayashibara M., Itoh N. Nucl. Instr. Meth. B 2 596 (1983)
  53. Krauss A.R., Gruen D.M., Dewald A.B. J. Nucl. Mater. 121 398 (1984)
  54. Lam N.Q., Hoff H.A., Wiedersich G., Rehn L.E. Surf. Sci. 149 517 (1985)
  55. Pellm M., Young C.E., Gruen D.M., Aratono Y., Dewald A.B. Surf. Sci. 152 477 (1985)
  56. Harrison D.E., Kelly P.W., Garrison B.J., Winograd N. Surf. Sci. 76 311 (1978)
  57. Robinson M.T. J. Appl. Phys. 54 2650 (1983)
  58. Rosen F., Mueller G., Fraser W.A. Nucl. Instr. Meth. 209-210 63 (1983)
  59. Olson R.R., Wehner G.K. J. Vac. Sci. Technol. 14 319 (1977)
  60. Olson R.R., King M.E., Wehner G.K. J. Appl. Phys. 50 3677 (1979)
  61. Andersen H.H., Stenum R., Sorensen T., Whitlow H.J. Nucl. Instr. Meth. 209-210 487 (1983)
  62. Kang H.J., Matsuda Y., Shimizu R. Surf. Sci. 127 L179 (1984)
  63. Jchimura S., Shimizu G., Murakami H, Ishida Y. J. Nucl. Mater. 128-129 601 (1984)
  64. Lindhard J., Nielsen V. Mat.-Fys. Medd. K. Dan. Vidensk. Selsk. 38 (9) 1 (1971)
  65. Robinson M.T. Phil. Mag. 12 145 (1965)
  66. Sigmund P., Oliva A, Falcone G. Nucl. Jnstr. Meth. 194 541 (1982)
  67. Kelly R., Oliva A. Nucl. Jnstr. Meth. B 13 283 (1986)
  68. Falcone G Phys. Rev. B 33 263 (1986)
  69. Falcone G Rad. Eff. Expr. 1 147 (1987)
  70. Matsunami N., Yamamura Y., Hitikawa Y., Jtoh N., Kazumata Y., Miyagawa S., Morita K., Shimiru R. Report NIPPJ-AM-14 (Nagoya, Japan, 1980)
  71. Laeyraid N., Wehner G.K. J. Appl. Phys. 32 365 (1961)
  72. Carter G., Navinsek B., Witton J.L. Sputtering by Ion Bombardment II (Ed. R Behrisch) (Berlin: Springer-Verlag, 1983); Перевод, Carter G., Navinsek B., Witton J.L. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой Вып. II (Под ред. Р Бериша) (М.: Мир, 1986) с. 310
  73. Kelly R. Nucl. Instr. Meth. B 18 388 (1987)
  74. Garrison B.J., Winograd N., Lo D., Tombrello T.A., Harrison D.E., Webb P.P. Surf. Sci. 129 1180 (1987)
  75. Mc. Craken G.M., Scott P.E. Nucl. Fusion 19 889 (1979)
  76. Tombrello T.A. Pad. Eff. 65 149 (1982)
  77. Weissmann R., Sigmund P. Pad. Eff. 19 7 (1973)
  78. Weissmann R., Behrisch R. Pad. Eff. 19 69 (1973)
  79. Littmark U., Fedder S. Nucl. Instr. Meth. 194 607 (1982)
  80. Falcone G., Oliva A. Appl. Phys. A 32 201 (1983)
  81. Falcone G., Oliva A. Rad. Eff. Lett. 86 57 (1984)
  82. Garrison B.J. Nucl. Instr. Meth. B 17 305 (1986)
  83. Falcone G., Kelly R., Oliva A. Nucl. Instr. Meth. B 18 399 (1987)
  84. Oliva A, Kelly R., Falcone G. Nucl. Instr. Meth. B 19-20 101 (1987)
  85. Sanders J.B. Thesis University of Leiden (1968)
  86. Sigmund P. Rad. Eff. 1 15 (1969)
  87. Falcone G., Oliva A., не опубликовано
  88. Doetsch G. Theory and Application of Laplace Transform (Berlin: Springer, 1964); Перевод, Дёч Г. Руководство к практическому применению преобразования Лапласа (М.: Наука, 1965)
  89. Littmark U. Thesis (University of Copenhagen, 1974)
  90. Littmark U., Sigmund P. J. Phys. D 8 241 (1975)
  91. Schott H.E. Mat.-Fys. Medd. K. Dan. Vidensk. Selsk. 35 (9) 1 (1966)
  92. ЛИТЕРАТУРА, ДОБАВЛЕННАЯ ПРИ ПЕРЕВОДЕ, Mashkova E.S., Molchanov V.A. Rad. Eff. Defects Solids 108 307 (1989)
  93. Машкова Е С (Ред. сб. перев.) Фундаментальные и прикладные аспекты распыления твердых тел (М.: Мир, 1989)
  94. Плешивцев Н.В. "Применение ионных пучков для технологических целей" Итоги науки и техники. Сер. Физические основы лазерной и пучковой технологии Т. 5 (1989) с. 55
  95. Мартыненко Ю.В., Рязанов А.И., Фирсов О.Б., Явлинский Ю.Н. Вопросы теории плазмы. Вып. 12 (Под ред. М.А. Леонтовича, Б.Б. Кадомцева) (М.: Энергоатомиздат, 1982) с. 205
  96. Eckstein W. Computer Simulation of Ion-Solid Interaction (Berlin, Heidelberg: Springer-Verlag, 1991), Готовится перевод в издательстве Мир
  97. Плетнев В В ФТТ 20 3379 (1978)
  98. Pletnev V.V., Semenov D.S. Telkovsky V.G. Rad. Eff. 83 113 (1984)
  99. Плешивцев Н.В. Катодное распыление (М.: Атомиздат, 1968)
  100. Гусева М.И., Мартыненко Ю.В. Физ. плазмы 2 593 (1976)
  101. Bonderup E. Penetration of Charged Particles through Matter ((Lecture Notes. Institute of Physics)) (Denmark: University of Aarhus, 1978)
  102. Фирсов О. Б. ЖЭТФ 34 447 (1958)
  103. Фирсов О. Б. ЖЭТФ 36 1517 (1959)
  104. Габович М.Д., Плешивцев Н.В., Семашко Н.Н. Пучки ионов и атомов для УТС и технологических целей (М.: Энергоатомиздат, 1986)
  105. Экштайн В., Книжник Г.С., Машкова Е.С., Молчанов В.А., Толмачев А.И., Фаязов И.М. Поверхность (11) 27 (1990)
  106. Толмачев А.И. Изв. АН СССР. Сер. физ. 55 2409 (1991)
  107. Кучинский В.В. Поверхность (4) 93 (1982)
  108. Falcone G., Forlano L., Aiello D., Piperno F., to be published
  109. Williams M.M.R. Prog. Nucl. Energy. 3 1 (1979)
  110. Итоги науки и техники. Сер. Пучки заряженных частиц и твердое тело Т. 5 (М.: ВИНИТИ АН СССР, 1991)
© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение