Цветокодированное отображение информации в растровой электронной микроскопии

В статье описывается система цветокодирования изображений для качественного и количественного анализа информации в растровом электронном микроскопе. В основу метода положено преобразование «интенсивность-цвет», когда определенному параметру или свойству объекта ставится в соответствие определенный цвет. Квантование видеосигнала по цветному спектру осуществлено в режимах вторичной электронной эмиссии, отраженных электронов анализ объекта на элементный состав, потенциального контраста и наведенного тока при исследовании полупроводниковых структур. Экспериментально проиллюстрированы возможности цветокодирования видеосигнала при экспресс-анализе качества изделий микроэлектроники и при определении локального распределения химических элементов в исследуемых материалах. Илл. 8, библиогр. ссылок 11.

Текст pdf (886 Кб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU1983v026n01ABEH004309

PACS: 07.80.+x
DOI: 10.3367/UFNr.0139.198301f.0165
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1983/1/f/
Цитата: Спивак Г В, Рау Э И, Сасов А Ю "Цветокодированное отображение информации в растровой электронной микроскопии" УФН 139 165–168 (1983)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)Medline

RefWorks

Русский

English

RT Journal
T1 Color-coded display of information in scanning electron microscopy
A1 Spivak,G.V.
A1 Rau,E.I.
A1 Sasov,A.Yu.
PB Uspekhi Fizicheskikh Nauk
PY 1983
FD 10 Jan, 1983
JF Uspekhi Fizicheskikh Nauk
JO Usp. Fiz. Nauk
VO 139
IS 1
SP 165-168
DO 10.3367/UFNr.0139.198301f.0165
LK https://ufn.ru/ru/articles/1983/1/f/

English citation: Spivak G V, Rau E I, Sasov A Yu “Color-coded display of information in scanning electron microscopy” Sov. Phys. Usp. 26 84–86 (1983); DOI: 10.1070/PU1983v026n01ABEH004309