Рентгенолитография в пучках синхротронного излучения

PACS: 01.10.Fv
DOI: 10.3367/UFNr.0128.197905i.0180
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1979/5/i/
Цитата: Александров Ю М, Кривоспицкий А Д, Якименко М Н "Рентгенолитография в пучках синхротронного излучения" УФН 128 180–181 (1979)

BibTex

BibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Русский

English

%0 Journal Article
%T X-ray lithography in synchrotron radiation beams
%A Yu. M. Aleksandrov
%A A. D. Krivospitskii
%A M. N. Yakimenko
%I Uspekhi Fizicheskikh Nauk
%D 1979
%J Usp. Fiz. Nauk
%V 128
%N 5
%P 180-181
%U https://ufn.ru/ru/articles/1979/5/i/
%U https://doi.org/10.3367/UFNr.0128.197905i.0180

English citation: Aleksandrov Yu M, Krivospitskii A D, Yakimenko M N “X-ray lithography in synchrotron radiation beams” Sov. Phys. Usp. 22 383–384 (1979); DOI: 10.1070/PU1979v022n05ABEH005503