Содержание: Термы эксимерных молекул. Механизмы возбуждения эксимерных лазеров. Возбуждение эксимерного лазера электронным пучком. Параметры элементарных процессов. Баланс энергии электронов. Баланс заряженных частиц. Оптимальные параметры лазера. Возбуждение эксимерного лазера импульсным разрядом. Особенности механизма возбуждения. Конкретные системы. Лазер на Хе₂. Лазеры на Кr₂и Аr₂. Лазеры на ArО, КrО и ХеО. Лазеры на XeF, ArF, KrF. Лазеры на ХеВr, ХеСl, KrCl, ArCl, NeF.