Отжиг ионно-легированных слоев под действием лазерного излучения

PACS: 01.10.Fv
DOI: 10.3367/UFNr.0120.197612n.0706
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1976/12/n/
Цитата: Зарипов М М, Хайбуллин И Б, Штырков Е И "Отжиг ионно-легированных слоев под действием лазерного излучения" УФН 120 706–708 (1976)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)Medline

RefWorks

Русский

English

RT Journal
T1 Отжиг ионно-легированных слоев под действием лазерного излучения
A1 Зарипов,М.М.
A1 Хайбуллин,И.Б.
A1 Штырков,Е.И.
PB Успехи физических наук
PY 1976
FD 10 Dec, 1976
JF Успехи физических наук
JO Усп. физ. наук
VO 120
IS 12
SP 706-708
DO 10.3367/UFNr.0120.197612n.0706
LK https://ufn.ru/ru/articles/1976/12/n/

English citation: Zaripov M M, Khaybullin I B, Shtyrkov E I “Annealing of Ion-Implanted Layers Under the Action of Laser Radiation” Sov. Phys. Usp. 19 1032–1033 (1976); DOI: 10.1070/PU1976v019n12ABEH005380