Выпуски

 / 

1976

 / 

Декабрь

  

Совещания и конференции


Отжиг ионно-легированных слоев под действием лазерного излучения

Научная сессия Отделения общей физики и астрономии и Отделения ядерной физики Академии наук СССР (23 — 24 июня 1976 г.)

Текст: pdf
Войдите или зарегистрируйтесь чтобы получить доступ к полным текстам статей.
PACS: 01.10.Fv
DOI: 10.3367/UFNr.0120.197612n.0706
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1976/12/n/
Цитата: Зарипов М М, Хайбуллин И Б, Штырков Е И "Отжиг ионно-легированных слоев под действием лазерного излучения" УФН 120 706–708 (1976)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks
Русский English
@article{Zaripov:1976,
	author = {М. М. Зарипов and И. Б. Хайбуллин and Е. И. Штырков},
	title = {Отжиг ионно-легированных слоев под действием лазерного излучения},
	publisher = {Успехи физических наук},
	year = {1976},
	journal = {Усп. физ. наук},
	volume = {120},
	number = {12},
	pages = {706-708},
	url = {https://ufn.ru/ru/articles/1976/12/n/},
	doi = {10.3367/UFNr.0120.197612n.0706}
}

English citation: Zaripov M M, Khaybullin I B, Shtyrkov E I “Annealing of Ion-Implanted Layers Under the Action of Laser RadiationSov. Phys. Usp. 19 1032–1033 (1976); DOI: 10.1070/PU1976v019n12ABEH005380

© Успехи физических наук, 1918–2020
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение