Отжиг ионно-легированных слоев под действием лазерного излучения

PACS: 01.10.Fv
DOI: 10.3367/UFNr.0120.197612n.0706
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1976/12/n/
Цитата: Зарипов М М, Хайбуллин И Б, Штырков Е И "Отжиг ионно-легированных слоев под действием лазерного излучения" УФН 120 706–708 (1976)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)

MedlineRefWorks

Русский

English

PT Journal Article
TI Annealing of Ion-Implanted Layers Under the Action of Laser Radiation
AU Zaripov M M
FAU Zaripov MM
AU Khaybullin I B
FAU Khaybullin IB
AU Shtyrkov E I
FAU Shtyrkov EI
DP 10 Dec, 1976
TA Usp. Fiz. Nauk
VI 120
IP 12
PG 706-708
RX 10.3367/UFNr.0120.197612n.0706
URL https://ufn.ru/ru/articles/1976/12/n/
SO Usp. Fiz. Nauk 1976 Dec 10;120(12):706-708

English citation: Zaripov M M, Khaybullin I B, Shtyrkov E I “Annealing of Ion-Implanted Layers Under the Action of Laser Radiation” Sov. Phys. Usp. 19 1032–1033 (1976); DOI: 10.1070/PU1976v019n12ABEH005380