Отжиг ионно-легированных слоев под действием лазерного излучения

PACS: 01.10.Fv
DOI: 10.3367/UFNr.0120.197612n.0706
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1976/12/n/
Цитата: Зарипов М М, Хайбуллин И Б, Штырков Е И "Отжиг ионно-легированных слоев под действием лазерного излучения" УФН 120 706–708 (1976)

BibTexBibNote ® (generic)

BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Русский

English

TY JOUR
TI Annealing of Ion-Implanted Layers Under the Action of Laser Radiation
AU Zaripov, M. M.
AU Khaybullin, I. B.
AU Shtyrkov, E. I.
PB Uspekhi Fizicheskikh Nauk
PY 1976
JO Uspekhi Fizicheskikh Nauk
JF Uspekhi Fizicheskikh Nauk
JA Usp. Fiz. Nauk
VL 120
IS 12
SP 706-708
UR https://ufn.ru/ru/articles/1976/12/n/
ER https://doi.org/10.3367/UFNr.0120.197612n.0706

English citation: Zaripov M M, Khaybullin I B, Shtyrkov E I “Annealing of Ion-Implanted Layers Under the Action of Laser Radiation” Sov. Phys. Usp. 19 1032–1033 (1976); DOI: 10.1070/PU1976v019n12ABEH005380