Отжиг ионно-легированных слоев под действием лазерного излучения

PACS: 01.10.Fv
DOI: 10.3367/UFNr.0120.197612n.0706
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1976/12/n/
Цитата: Зарипов М М, Хайбуллин И Б, Штырков Е И "Отжиг ионно-легированных слоев под действием лазерного излучения" УФН 120 706–708 (1976)

BibTex

BibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Русский

English

%0 Journal Article
%T Annealing of Ion-Implanted Layers Under the Action of Laser Radiation
%A M. M. Zaripov
%A I. B. Khaybullin
%A E. I. Shtyrkov
%I Uspekhi Fizicheskikh Nauk
%D 1976
%J Usp. Fiz. Nauk
%V 120
%N 12
%P 706-708
%U https://ufn.ru/ru/articles/1976/12/n/
%U https://doi.org/10.3367/UFNr.0120.197612n.0706

English citation: Zaripov M M, Khaybullin I B, Shtyrkov E I “Annealing of Ion-Implanted Layers Under the Action of Laser Radiation” Sov. Phys. Usp. 19 1032–1033 (1976); DOI: 10.1070/PU1976v019n12ABEH005380