Содержание: Введение. Эффект пространственного перераспределения потока заряженных частиц при аксиальном каналировании. Основные предположения, которые используются при интерпретации экспериментов по определению местоположения примесного атома. Статистическое равновесное распределение при аксиальном каналировании. Время установления равновесного распределения. Распределение потока ионов в аксиальном канале. Зависимость потока от угла падения ионного пучка на кристалл. Многократное рассеяние и его влияние на перераспределение потока ионов. Распределение потока ионов на малых глубинах. Расщепление углового распределения каналированных ионов и появление многократных пиков. Эффект пространственного перераспределения потока ионов при плоскостном каналировании. Поток ионов в плоскостном канале. Многократное рассеяние каналированных ионов при плоскостном каналировании. Каналирование тяжелых ионов. О некоторых особенностях каналирования тяжелых ионов. Пространственное распределение тяжелых каналированных ионов. Эксперименты по определению местоположения примесного атома. Основные факторы, влияющие на местоположение примесного атома. Использование эффекта перераспределения потока для точного определения местоположения примесного атома. Определение местоположения бора в кремнии. Заключение. Цитированная литература.