Растровая электронная микроскопия

Растровый электронный микроскоп (РЭМ)— прибор, позволяющий без особой предварительной подготовки исследовать объекты с произвольной геометрией и с разрешением на порядок лучше, чем у оптического микроскопа.В основу его работы положен телевизионный принцип развертки тонкого пучка электронов или ионов по поверхности образца. В результате взаимодйствия луча с веществом в каждой точке поверхности объекта вызывается ряд физических явлений, которые регистируются соответствующими датчиками, а сигнал от них после усиления модулирует локальную яркость кинескопа, развертка которого синхронна со смещением первичного пучка. Таким образом,каждый элемент поверхности объекта находится во взаимно однозначном соответствии с яркостью определенного места на экране.

Текст pdf (6 Мб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU1970v012n06ABEH003971

PACS: 07.78.+s, 68.37.Hk, 78.60.Hk, 61.72.Ff, 87.64.Ee (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0099.196912d.0635
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1969/12/d/
Цитата: Спивак Г В, Сапарин Г В, Быков М В "Растровая электронная микроскопия" УФН 99 635–672 (1969)

BibTexBibNote ® (generic)

BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Русский

English

TY JOUR
TI Scanning electron microscopy
AU Spivak, G. V.
AU Saparin, G. V.
AU Bykov, M. V.
PB Uspekhi Fizicheskikh Nauk
PY 1969
JO Uspekhi Fizicheskikh Nauk
JF Uspekhi Fizicheskikh Nauk
JA Usp. Fiz. Nauk
VL 99
IS 12
SP 635-672
UR https://ufn.ru/ru/articles/1969/12/d/
ER https://doi.org/10.3367/UFNr.0099.196912d.0635

English citation: Spivak G V, Saparin G V, Bykov M V “Scanning electron microscopy” Sov. Phys. Usp. 12 756–776 (1970); DOI: 10.1070/PU1970v012n06ABEH003971