СОДЕРЖАНИЕ
Введение
1. Методика механических испытаний
1.1. Метод стирания
1.2. Метод микротвердости
1.3. Метод быстровращающегося ротора
1.4. Метод изгиба («выдувания»)
1.5. Метод растяжения
2. Прочность конденсированных пленок
2.1. Влияние толщины
2.2. Влияние температуры подложки и скорости конденсации
2.3. Влияние степени вакуума и способа испарения
2.4. Пленки сплавов
2.5. Внутренние макронапряжения в пленках
2.6. Усталостная прочность конденсированных пленок
3. Деформация и разрушение пленок
3.1. Диаграммы растяжения
3.2. Особенности деформации и разрушения пленок
3.3. Ползучесть и долговечность пленок
3.4. Эффект прокатки вакуумных конденсатов
4. Структура (субструктура) высокопрочных конденсированных пленок
5. Многослойные вакуумные конденсаты
6. Заключение
Цитированная литература