Точность, достижимая при измерениях интерференционными методами определяется в основном возможностями определения положения и, формы интерференционных полос. При обычных визуальных и фотографических методах наблюдения положение интерференционной полосы определяется с погрешностью порядка 0,1 ширины полосы. Для увеличения точности измерений можно итти далее двумя путями.