В последние годы получили применение искровые счётчики с плоскопараллельными электродами. Интерес к ним обусловлен главным образом тем, что они вследствие малого запаздывания разряда по отношению к моменту прохождения ионизующей частицы и быстрого развития разряда пригодны для измерения весьма малых промежутков времени. В обычных цилиндрических счётчиках Гейгера-Мюллера запаздывание разряда определяется временем дрейфа первичных электронов к нити счётчика, где градиент напряжённости электрического поля велик и начинается ударная ионизация, ведущая к разряду.