Максим Владимирович Спиридонов

Институт общей физики им. А.М. Прохорова Российской академии наук
Адрес: ул. Вавилова 38, Москва, 119991, Российская Федерация
Телефон: +7 (499) 503 87 34
Факс: +7 (499) 503 87 23
Вебсайт: www.gpi.ru

Физический институт им. П.Н. Лебедева РАН
Адрес: Ленинский проспект 53, Москва, 119991, Российская Федерация
Телефон: +7 (499) 135 42 64
Факс: +7 (499) 135 78 80
Вебсайт: www.lebedev.ru

Статьи

Д.Б. Абраменко, П.С. Анциферов, Д.И. Астахов и др. «Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов (к 50-летию Института спектроскопии РАН)» 189 323–334 (2019)

См. также: О.Ф. Якушев, Д.Б. Абраменко, Б.В. Лакатош, А.А. Якушкин, И.П. Цыгвинцев, А.Д. Соломянная, Е.П. Снегирев, Ю.В. Сидельников, А.Н. Рябцев, В.В. Медведев, А.А. Лаш, В.М. Кривцун, М.С. Кривокорытов, П.В. Крайнов, К.Н. Кошелев

PACS: 42.82.Cr, 52.25.Os, 52.59.-f, 52.70.-m, 52.77.-j