Issues

 / 

2013

 / 

July

  

Instruments and methods of investigation


Low-power X-ray tubes: the current status

 a, b,  a,  c,  a
a Moscow Institute of Physics and Technology (National Research University), Institutskii per. 9, Dolgoprudny, Moscow Region, 141700, Russian Federation
b Kotelnikov Institute of Radioengineering and Electronics of the Russian Academy of Sciences, ul. Mokhovaya 11, kor. 7, Moscow, 125009, Russian Federation
c Vekshinsky State Research Institute of Vacuum Technology, Nagornyi proezd 7, Moscow, 117105, Russian Federation

The principles and designs of X-ray tubes are discussed. Historical highlights and the current status of X-ray technology are reviewed and prospects for its improvement are outlined. A comparison of the properties of X-ray tubes with those of hot cathodes and field-emission cathodes is given.

Fulltext pdf (764 KB)
Fulltext is also available at DOI: 10.3367/UFNe.0183.201307c.0727
PACS: 07.85.Fv, 41.50.+h, 79.70.+q (all)
DOI: 10.3367/UFNe.0183.201307c.0727
URL: https://ufn.ru/en/articles/2013/7/c/
000325716100003
2-s2.0-84886066974
2013PhyU...56..691B
Citation: Bugaev A S, Eroshkin P A, Romanko V A, Sheshin E P "Low-power X-ray tubes: the current status" Phys. Usp. 56 691–703 (2013)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Received: 22nd, March 2012, 11th, December 2012

Оригинал: Бугаев А С, Ерошкин П А, Романько В А, Шешин Е П «Маломощные рентгеновские трубки (современное состояние)» УФН 183 727–740 (2013); DOI: 10.3367/UFNr.0183.201307c.0727

References (91) ↓ Cited by (15) Similar articles (20)

  1. Röntgen W C Nature 53 274 (1896)
  2. ’F’?’?ya’? ’v ’v "’i’?’?т’?’?’?’?’?с’?’?ya ’?’?’?’?’?т’?ch’?с’?’?ya ’?’?’?’?р’?тур’? ’? ’?’?рс’?’?’?т’?’?ы ’?’? р’?’?’?’?т’?ya" ’R’?’?. ’’’e’n’R ’?’?. ’E.’R. ’p’?ьya’?’?’?’? ’’’?’?’?’?’? (246) 5 (1979)
  3. ’a’?сyats ’I ’B ’? ’?р. ’a’?shch’?ы’? ’?’?’?’?с’?’?у’?’?’?ы’? ’?’?’?у’?ьсы р’?’?т’?’?’?’?’?с’?’?’?’? ’?’?’?уch’?’?’?ya (’a.: ’e’?’?р’?’?’?т’?’?’?’?’?’?т, 1983)
  4. ’I’?рch’?’?’?’? ’s ’’ ’p’?р’?’?’?ya’?’?’?’? ’?’?’?у’?ьс’?’?’? р’?’?т’?’?’?’?’?с’?’?’? ’?’?’?уch’?’?’?’? ’? ’?р’?’?’?р’?стр’?’?’?’?’? (’a.: ’e’?’?р’?’?’?т’?’?’?’?’?’?т, 1987)
  5. ’Iру’?’?’?’?’? ’B ’z ’? ’?р. ’B’?’?’?р’?тур’? ’?’?т’?’?ы р’?’?т’?’?’?’?’?с’?’?’?’? ’?’?’?’?’?’?’? (30) 123 (1983)
  6. ’F’?yu’?’? ’E ’E (’i’?’?.) ’i’?’?т’?’?’?’?т’?kh’?’?’?’? (’a.: ’a’?sh’?’?’?стр’?’?’?’?’?, 1980)
  7. ’l’?с’?’?’? ’s ’i ’K’?ф’?’?т’?с’?’?’?’?ya (4) 37 (1985)
  8. ’iу’?ya’?ts’?’? ’l ’E ’i’?’?’?’?ts’?’?’?’?’?ya ’?’?ф’?’?т’?с’?’?’?’?ya (’a.: ’Bт’?’?’?’?’?’?т, 1974)
  9. ’B’?’?рyushch’?’?’?’? ’B ’I ’? ’?р. ’e’?’?’?тр’?’?’?’?ya ’?р’?’?ыsh’?’?’?’?’?сть (11) 31 (1983)
  10. Ch’?’?’?’?ь ’’ ’E ’zр’?’?’?’?’?’?’?’? ус’?’?р’?т’?’?’?’? э’?’?’?тр’?’?’?’? ’? р’?’?’?’?ts’?’?’?’?’?’? kh’?’?’?’? (’a.: ’Bт’?’?’?’?’?’?т, 1975)
  11. Sze S M VLSI Technology (New York: McGraw-Hill, 1983); ’O’? ’l (’i’?’?.) ’n’?kh’?’?’?’?’?’?ya ’l’G’R’l (’a.: ’a’?р, 1986)
  12. ’G’?’?’?’?’? ’v ’v ’? ’?р. ’i’?’?т’?’?’?’?-’?’?’?’?’?’?ст’?ch’?с’?’?’? ’?’?’?’?р’?ты (’z’?’? р’?’?. ’v ’v ’G’?’?’?’?’?’?) (’a.: ’a’?’?’?ts’?’?’?, 1976)
  13. ’O’?’?’?’?’?’? Yu ’v ’d’?’?’?ры ’?’? э’?’?’?тр’?’?’?’?’? т’?kh’?’?’?’? (4) (1991)
  14. ’R’?’?’?’?’? ’l ’B, Shchу’?’?’? ’I ’B ’i’?’?т’?’?’?’?’?с’?’?’? тру’?’?’? т’?kh’?’?ch’?с’?’?’?’? ’?’?’?’?’?ch’?’?’?ya (’’.: ’e’?’?р’?’?’?т’?’?’?’?’?’?т, 1989)
  15. ’R’?’?’?’?’? ’l ’B ’? ’?р. ’d’?’?’?ры ’?’? э’?’?’?тр’?’?’?’?’? т’?kh’?’?’?’? (4) (1987)
  16. ’R’?фф’? Yu ’F ’e’?’?’?тр’?’?’?’?ya т’?kh’?’?’?’?. ’e’?’?’?тр’?’?’?’?уу’?’?ы’? ’?’?’?’?р’?’?рya’?’?ы’? ’?р’?’?’?ры (2) (1987)
  17. ’G’?р’?’?с’?’?’? ’B ’R, Shchу’?’?’? ’I ’B ’e’?’?’?тр’?’?’?’?ya ’?р’?’?ыsh’?’?’?’?’?сть (5) (1991)
  18. ’z’?тр’?kh’?’? ’v ’v ’E’?’?уу’?’?’?ya т’?kh’?’?’?’? т’?kh’?’?’?’?’?’?ya 16 (2) 169 (2006)
  19. Sarrazin P et al. Adv. X-Ray Analysis 47 232 (2004)
  20. ’G’?’?kh’?’? ’a ’B ’s’?’?’?’?’? р’?’?т’?’?’?’?’?с’?’?kh ’?уch’?’? (’a.: ’I’R’n’n’’, 1953)
  21. Webb S (Ed.) The Physics Of Medical Imaging (Bristol: IOP Publ., 1992)
  22. ’G’?khт’?р’?’? ’B ’E ’? ’?р. "’i’?’?’?’?’?р’?ф’?ch’?с’?’?’? с’?’?’?’?руyushch’?’? устр’?’?ст’?’?" ’z’?’?’?’?’?’?ya ’?’?’?’?’?ь ’i’s 31946 (29.08.2000)
  23. ’G’?khт’?р’?’? ’B ’E ’? ’?р. "’K’?’?’?’?’?ст’?ch’?с’?’?’? р’?’?т’?’?’?’?’?с’?’?’? с’?’?’?’?руyushch’?’? ts’?фр’?’?’?’? ’?’?’?’?р’?т" ’z’?’?’?’?’?’?ya ’?’?’?’?’?ь ’i’s 56157 (10.05.2006)
  24. ’G’?khт’?р’?’? ’B ’E ’? ’?р., ’n’d’d "’a’M’K’n’MKh" "’pстр’?’?ст’?’? ’?’?ya р’?’?’?стр’?ts’?’? ’? ф’?р’?’?р’?’?’?’?’?ya р’?’?т’?’?’?’?’?с’?’?’?’? ’?’?’?’?р’?zh’?’?’?ya" ’z’?т’?’?т ’i’s 2130623 (21.02.1997)
  25. ’G’?’?ya’?’? ’G ’s ’e’?’?’?тр’?’?’?’?ya т’?kh’?’?’?’? (1) 38 (1981)
  26. ’R’?’?’?’?’? ’l ’B, ’F’?’?ya’? ’v ’R, ’a’?’?ур’?’? ’B ’R ’i’?’?т’?’?’?’?т’?’?’?’?’?’?’?’?’?’?ы’? ’?’?т’?’?ы ’?сс’?’?’?’?’?’?’?’?ya ’?’?’?р’?стру’?тур (’’.: ’a’?sh’?’?’?стр’?’?’?’?’?, 1983)
  27. ’Bр’?ст’?’? ’E ’E, Sh’?khт’?’?’? ’E Sh, Sh’?ыть’?’? ’R ’a Kristallogr. 21 50 (1976); Aristov V V, Shekhtman V Sh, Shmyt’ko I M Sov. Phys. Crystallogr. 21 25 (1976); ’Bр’?ст’?’? ’E ’E, Sh’?khт’?’?’? ’E Sh, Sh’?ыть’?’? ’R ’a "’dс’?’?’?’?’?’?ст’? ’?’?т’?ch’?с’?’?’? сkh’?’?ы р’?сkh’?’?yashch’?’?’?сya ’?уch’?’?" ’zр’?’?р’?’?т (Ch’?р’?’?’?’?’?’?’?’?’?: ’R’?-т ф’?’?’?’?’? т’?’?р’?’?’?’? т’?’?’? ’B’v ’l’l’l’i, 1975)
  28. ’p’?’?’?с’?’?’? Ya ’l ’? ’?р. ’Fр’?ст’?’?’?’?’?р’?ф’?ya, р’?’?т’?’?’?’?’?р’?ф’?ya ’? э’?’?’?тр’?’?’?’?ya ’?’?’?р’?с’?’?’?’?ya (’a.: ’a’?т’?’?’?ур’?’?ya, 1982)
  29. ’Gыстр’?’? Yu ’B, ’R’?’?’?’?’? ’l ’B ’pс’?’?р’?т’?’?ь’?’?ya т’?kh’?’?’?’? ’? р’?’?т’?’?’?’?’?с’?’?’? ’?р’?’?’?ры (’a.: ’Eысsh’?ya sh’?’?’?’?, 1983)
  30. ’n’?р’?’?’?’?’? ’F ’l ’? ’?р. ’E’?’?’?’?’?’?’? ’? с’?’?р’?’?’?’?’?уyu т’?’?’?’?р’?ф’?yu (’F’?’?’?: ’v’?у’?’?’?’? ’?у’?’?’?, 1983)
  31. Boyd D P, Lipton M J Proc. IEEE 71 298 (1983); ’G’?’?’? ’K ’z, ’’’?’?т’?’? ’a ’Kzh ’n’R’R’e’i 71 (3) 14 (1983)
  32. ’G’?’?’?’?’? ’v ’v ’? ’?р. ’n’?’?’?’?’?’?’?’?’?’?ы’? ’?’?т’?’?ы ’?’?р’?’?’?т’?’? р’?’?т’?’?’?’?’?с’?’?kh ’? ’?’?’?’?’?-’?’?’?’?р’?zh’?’?’?’? (’a.: ’e’?’?р’?’?’?’?’?’?т, 1982)
  33. ’zр’?’?ыsh’?’?’?’?ы’? р’?’?т’?’?’?’?’?с’?’?’? ’?ыch’?с’?’?т’?’?ь’?ы’? ’?’?’?р’?т’?’?’?’?р’?ф ’E’n-50 (’a.: ’v’z’d "’l’?’?’?тр")
  34. ’G’?’?’?’?’? ’v ’v ’? ’?р. ’n’?kh’?’?ch’?с’?’?’? ср’?’?ст’?’? ’?’?’?’?ts’?’?с’?’?’? ’?’?тр’?с’?’?’?’?’? (’z’?’? р’?’?. ’G ’R ’’’?’?’?’?’?’?) (’a.: ’a’?’?’?ts’?’?’?, 1989)
  35. ’G’?’?kh’?’? ’a ’B ’s’?’?’?’?’? р’?’?т’?’?’?’?’?с’?’?kh ’?уch’?’? (’a.: ’I’R’n’n’’, 1957)
  36. ’R’?’?р’?’?’?’?’? ’E ’R, ’i’?’?’?’?’?’?ch ’I ’z ’n’?’?р’?ya р’?сс’?ya’?’?ya р’?’?т’?’?’?’?’?с’?’?kh ’?уch’?’? (’a.: ’R’?’?-’?’? ’a’I’p, 1978)
  37. Michette A G Optical Systems For Soft X Rays (New York: Plenum Press, 1986); ’a’?sh’?тт ’B ’I ’d’?т’?’?’? ’?ya’?’?’?’?’? р’?’?т’?’?’?’?’?с’?’?’?’? ’?’?’?уch’?’?’?ya (’a.: ’a’?р, 1989)
  38. Kumakhov M A (Ed.) Kumakhov Optics And Applications: Selected Research Papers On Kumakhov Optics And Application 1998 — 2000 (Proc. SPIE) Vol. 4155 (Bellingham, Wash.: SPIE, 2000)
  39. Berreman D W Phys. Rev. B 14 4313 (1976)
  40. ’E’?’?’?’?р’?’?’?’? ’B ’E ’? ’?р. ’O’?р’?’?’?ь’?’?ya р’?’?т’?’?’?’?’?с’?’?ya ’?’?т’?’?’? (’z’?’? ’?’?shch. р’?’?. ’B ’E ’E’?’?’?’?р’?’?’?’?’?) (’’.: ’a’?sh’?’?’?стр’?’?’?’?’?, 1989)
  41. Snigirev A et al. Nature 384 49 (1996)
  42. Egorov V K, Egorov E V Thin Solid Films 398 - 399 405 (2001)
  43. ’M’?’?р’?’? ’M ’E, ’M’?’?р’?’? ’E ’F ’z’?’?’?рkh’?’?сть. ’i’?’?т’?’?’?’?’?с’?’?’?, с’?’?khр’?тр’?’?’?ы’? ’?’?’?тр’?’?’?ы’? ’?сс’?’?’?’?’?’?’?’?ya (2) 64 (2005)
  44. ’M’?’?р’?’? ’E ’F, ’M’?’?р’?’? ’M ’E ’z’?’?’?рkh’?’?сть. ’i’?’?т’?’?’?’?’?с’?’?’?, с’?’?khр’?тр’?’?’?ы’? ’?’?’?тр’?’?’?ы’? ’?сс’?’?’?’?’?’?’?’?ya (2) 5 (2005)
  45. Dinsmore M et al. Med. Phys. 23 (1) 45 (1996)
  46. Parker W J, Parker E R "X-ray micro-tube and method of use in radiation oncology" US Patent 5090043, Feb. 18, 1992, Int. Cl. H01J 35/32 (1992)
  47. ’M’?’?’?с’?’? ’a ’R ’? ’?р. ’v’?’?’?’?’?’?’?’?’?’?’?ы’? ’?’?т’?’?ы (’z’?’? р’?’?. ’a ’R ’M’?’?’?с’?’?’?) (’a.: ’l’?’?’?тс’?’?’? р’?’?’?’?, 1974)
  48. ’’’?’?’?’? ’n ’E ’? ’?р. "’R’?’?у’?ьс’?’?ya р’?’?т’?’?’?’?’?с’?’?ya тру’?’?’?" ’z’?т’?’?т ’i’s 2160480, 10.12.2000, ’a’z’F H01J35/00, H01J35/02, H05G1/02 (2000)
  49. ’O’?’?р’?’?’?’? ’R ’I ’? ’?р. ’i’?’?т’?’?’?’?’?с’?’?ya ’?’?т’?’?’? — 2008. ’a’?т’?р’?’?’?ы с’?’?’?shch’?’?’?ya, ’?. Ch’?р’?’?’?’?’?’?’?’?’?, 6 — 9 ’?’?тya’?рya 2008 ’?. (Ch’?р’?’?’?’?’?’?’?’?’?: ’R’?ст’?тут ’?р’?’?’?’?’? т’?kh’?’?’?’?’?’?’? ’?’?’?р’?э’?’?’?тр’?’?’?’?’? ’? ’?с’?’?’?ch’?стыkh ’?’?т’?р’?’?’?’?’? ’i’B’v, 2008) с. 44
  50. ’G’?’?’?sh’?’?’? ’a ’l ’? ’?р. ’z’?’?’?рkh’?’?сть. ’i’?’?т’?’?’?’?’?с’?’?’?, с’?’?khр’?тр’?’?’?ы’? ’?’?’?тр’?’?’?ы’? ’?сс’?’?’?’?’?’?’?’?ya (2) 43 (2003)
  51. ’z’?’?’?р’?т’?’? ’M ’’, Chkh’?’?’? ’v ’R Teplofiz. Vys. Temp. 44 770 (2006); Pankratov E L, Chkhalo N I High Temp. 44 766 (2006)
  52. Maeo S, Krämer M, Taniguchi K Rev. Sci. Instrum. 80 033108 (2009)
  53. ’I’?’?’?’?’?р ’E ’v’?’?’?’?’?’?устр’?ya (3) 20 (2008)
  54. ’Fу’?рyash’?’?’? ’B ’l, Sh’?sh’?’? ’M ’z, Shchу’?’? ’B ’B ’v’?’?’?- ’?’?’?р’?с’?ст’?’?’?’?ya т’?kh’?’?’?’? (3) 26 (2005)
  55. Knapp W et al. Vacuum Electron Sources Conf. Proc. 309 (2004)
  56. Knapp W, Schleussner D J. Vac. Sci. Technol. B 21 557 (2003)
  57. Knapp W et al. Vacuum 69 339 (2002)
  58. ’G’?р’?’?sh’?’? ’E ’l ’? ’?р. ’v’?’?’?- ’?’?’?р’?с’?ст’?’?’?’?ya т’?kh’?’?’?’? (1) 10 (2007)
  59. ’I’?р’?’?’?’? ’l ’F ’? ’?р. ’v’?’?’?- ’?’?’?р’?с’?ст’?’?’?’?ya т’?kh’?’?’?’? (12) 33 (2005)
  60. Iijima S Nature 354 56 (1991)
  61. Dresselhaus M S, Dresselhaus G, Avouris P (Eds) Carbon Nanotubes. Synthesis, Structure, Properties, And Applications (Topics in Applied Physics) Vol. 80 (Berlin: Springer-Verlag, 2001)
  62. Ajayan P M, Zhou O Z Carbon Nanotubes. Synthesis, Structure, Properties, And Applications (Topics in Applied Physics) Vol. 80 (Eds M S Dresselhaus, G Dresselhaus, P Avouris) (Berlin: Springer-Verlag, 2001) p. 391
  63. ’’’?’?’?’?’?’? ’B ’a ’? ’?р. ’v’?’?’?- ’?’?’?р’?с’?ст’?’?’?’?ya т’?kh’?’?’?’? (9) 34 (2005)
  64. Li J J et al. Proc. 5th Intern. Vacuum Electron Sources Conf., IVEC 2004 (2004) p. 253
  65. Zhang X et al. Proc. 5th Intern. Vacuum Electron Sources Conf., IVEC 2004 (2004) p. 293
  66. Choi G S, Son K H, Kim D J Microelectron. Eng. 66 206 (2003)
  67. Ch’?с’?’? ’i ’I ’? ’?р. ’v’?’?’?- ’?’?’?р’?с’?ст’?’?’?’?ya т’?kh’?’?’?’? (5) 26 (2003)
  68. Dean K A, Chalamala B R Appl. Phys. Lett. 76 375 (2000)
  69. Zhu W et al. Appl. Phys. Lett. 75 873 (1999)
  70. Choi W B et al. Appl. Phys. Lett. 75 3129 (1999)
  71. Saito Y, Uemura S, Hamaguchi K Jpn. J. Appl. Phys. 37 L346 (1998)
  72. Rosen R et al. Appl. Phys. Lett. 76 1668 (2000)
  73. Sh’?sh’?’? ’M ’z ’lтру’?тур’? ’?’?’?’?рkh’?’?ст’? ’? ’?’?т’?э’?’?сс’?’?’?’?ы’? с’?’?’?ст’?’? у’?’?’?р’?’?’?ыkh ’?’?т’?р’?’?’?’?’? (’a.: ’R’?’?-’?’? ’a’s’n’R. ’s’?’?’?’?т’?’?’?’?’?, 2001)
  74. ’G’?’?’?’?р’?’?’?’? ’G ’E, ’a’?’?уkh’? ’E ’R, Sh’?sh’?’? ’M ’z ’e’?’?’?тр’?’?’?’?ya т’?kh’?’?’?’?.’e’?’?’?тр’?’?’?’?’? ’l’ECh (10) (1984)
  75. ’G’?’?’?’?р’?’?’?’? ’G ’E ’? ’?р. ’i’?’?’?’?т’?kh’?’?’?’? э’?’?’?тр’?’?’?’?’? 30 2234 (1985)
  76. Baturin A S, Sheshin E P Abstr. of the 45th Intern. Field Emission Symp., Irbid, Jordan, 1998, Abstracts (1998)
  77. Sh’?рст’?’?’? ’z ’E, Sh’?sh’?’? ’M ’z, ’’’?’?’?’?’?’? ’a ’a ’v’?’?’?- ’?’?’?р’?с’?ст’?’?’?’?ya т’?kh’?’?’?’? (12) 70 (2007)
  78. Zhou O Z, Lu J "X-ray generating mechanism using electron field emission cathode" Patent US 2003/0142,790, Jul. 31, 2003, Int. Cl. H05H 001/00 (2003)
  79. Sh’?sh’?’? ’M ’z ’? ’?р. "’i’?’?т’?’?’?’?’?с’?’?ya тру’?’?’? с ’?’?т’?’?’?т’?’?’?’?" ’z’?т’?’?т ’i’s 2248643, 20.03.2005, ’a’z’F H01J35/02 (2005)
  80. ’Mр’?sh’?’?’? ’z ’B, Sh’?sh’?’? ’M ’z ’p’?’?’?р’?’?: фу’?’?’?’?’?’?т’?’?ь’?ы’? ’?р’?’?’?’?’?ы ’?’?у’?’?, ’?’?т’?р’?’?’?’?’?’?’?’?’?’?’?, т’?kh’?’?’?’?’?’?ya. ’F’?’?стру’?ts’?’?’?’?ы’? ’? фу’?’?ts’?’?’?’?’?ь’?ы’? ’?’?т’?р’?’?’?ы (’? т’?’? ch’?с’?’? ’?’?’?’?’?’?т’?р’?’?’?ы) ’? т’?kh’?’?’?’?’?’?’? ’?kh ’?р’?’?’?’?’?’?ст’?’?. ’a’?т’?р’?’?’?ы 7-’? ’?’?zh’?у’?’?р. ’?’?’?ф., ’E’?’?’?’?’?’?р, 17 — 19 ’?’?ya’?рya 2010 ’?’?’?’? (’dт’?. р’?’?. ’E ’K ’G’?’?’?’?) (’E’?’?’?’?’?’?р: ’R’?’?-’?’? ’E’?’?’?’?’?’?рс’?’?’?’? ’?’?с. у’?-т’?, 2010) с. 128
  81. ’Mр’?sh’?’?’? ’z ’B, Sh’?sh’?’? ’M ’z 10-’? ’Eс’?р’?сс. с’?’?’?’?’?р "’zр’?’?’?’?’?ы т’?’?р’?т’?ch’?с’?’?’? ’? ’?р’?’?’?’?’?’?’?’? э’?’?’?тр’?’?’?’?’? ’? ’?’?’?’?’?’? ’?’?т’?’?’?", ’a’?с’?’?’? 24 — 26 ’?’?ya 2011 ’?’?’?’? (2011)
  82. ’Mр’?sh’?’?’? ’z ’B ’nру’?ы 54-’? ’?’?уch’?’?’? ’?’?’?ф. ’a’s’n’R Vol. 5 (’a.: ’a’s’n’R, 2011) p. 12
  83. ’Mр’?sh’?’?’? ’z ’B ’? ’?р. ’nру’?ы 51-’? ’?’?уch’?’?’? ’?’?’?ф. ’a’s’n’R Vol. 5 (’a.: ’a’s’n’R, 2008)
  84. Eroshkin P A et al. ICHMS’2009. Hydrogen Materials Science and Chemistry of Carbon Nanomaterials. XI Intern. Conf., Yalta, Crimea, Ukraine, August 25 — 31, 2009 (Eds D V Schur et al., 2009) p. 678
  85. Busta H H et al. J. Vac. Sci. Technol. B 21 344 (2003)
  86. Rangsten P et al. Sensors Actuators A 82 24 (2000)
  87. Sugie H et al. Appl. Phys. Lett. 78 2578 (2001)
  88. Busta H H et al. 18th Intern. Vacuum Nanoelectronics Conf., IVNC 2005. Technical Digest (2005) p. 78
  89. Senda S et al. Appl. Phys. Lett. 85 5679 (2004)
  90. Reyes-Mena A et al. Adv. X-Ray Analysis 48 204 (2005)
  91. Sung H H, Aamir I, Sung O C Appl. Phys. Lett. 90 183109 (2007)

© 1918–2026 Uspekhi Fizicheskikh Nauk
Email: ufn@ufn.ru Editorial office contacts About the journal Terms and conditions