Annealing of Ion-Implanted Layers Under the Action of Laser Radiation

PACS: 01.10.Fv
DOI: 10.1070/PU1976v019n12ABEH005380
URL: https://ufn.ru/en/articles/1976/12/j/
Citation: Zaripov M M, Khaybullin I B, Shtyrkov E I "Annealing of Ion-Implanted Layers Under the Action of Laser Radiation" Sov. Phys. Usp. 19 1032–1033 (1976)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)

MedlineRefWorks

PT Journal Article
TI Annealing of Ion-Implanted Layers Under the Action of Laser Radiation
AU Zaripov M M
FAU Zaripov MM
AU Khaybullin I B
FAU Khaybullin IB
AU Shtyrkov E I
FAU Shtyrkov EI
DP 10 Dec, 1976
TA Phys. Usp.
VI 19
IP 12
PG 1032-1033
RX 10.1070/PU1976v019n12ABEH005380
URL https://ufn.ru/en/articles/1976/12/j/
SO Phys. Usp. 1976 Dec 10;19(12):1032-1033

Оригинал: Зарипов М М, Хайбуллин И Б, Штырков Е И «Отжиг ионно-легированных слоев под действием лазерного излучения» УФН 120 706–708 (1976); DOI: 10.3367/UFNr.0120.197612n.0706