Issues

 / 

1976

 / 

December

  

Meetings and conferences


Annealing of Ion-Implanted Layers Under the Action of Laser Radiation

PACS: 01.10.Fv
DOI: 10.1070/PU1976v019n12ABEH005380
URL: https://ufn.ru/en/articles/1976/12/j/
Citation: Zaripov M M, Khaybullin I B, Shtyrkov E I "Annealing of Ion-Implanted Layers Under the Action of Laser Radiation" Sov. Phys. Usp. 19 1032–1033 (1976)
BibTex BibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks
%0 Journal Article
%T Annealing of Ion-Implanted Layers Under the Action of Laser Radiation
%A M. M. Zaripov
%A I. B. Khaybullin
%A E. I. Shtyrkov
%I Physics-Uspekhi
%D 1976
%J Phys. Usp.
%V 19
%N 12
%P 1032-1033
%U https://ufn.ru/en/articles/1976/12/j/
%U https://doi.org/10.1070/PU1976v019n12ABEH005380

Оригинал: Зарипов М М, Хайбуллин И Б, Штырков Е И «Отжиг ионно-легированных слоев под действием лазерного излучения» УФН 120 706–708 (1976); DOI: 10.3367/UFNr.0120.197612n.0706

© 1918–2024 Uspekhi Fizicheskikh Nauk
Email: ufn@ufn.ru Editorial office contacts About the journal Terms and conditions