Указатель PACS

85.40.Hp Lithography, masks and pattern transfer
  1. Ю.В. Гуляев, Ю.Л. Копылов «Технология СБИС: основы и применения» 156 552–553 (1988)
    85.40.Hp, 01.30.Vv, 85.40.Bh, 85.40.Qx (все)
© Успехи физических наук, 1918–2017
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение