85.40.−e Microelectronics: LSI, VLSI, ULSI; integrated circuit fabrication technology

П.В. Ратников, А.П. Силин «Двумерная графеновая электроника: современное состояние и перспективы» 188 1249–1287 (2018)
68.65.Cd, 68.65.Pq, 73.21.Fg, 73.40.Gk, 73.50.−h, 85.30.Tv, 85.40.−e, 85.60.−q, 85.65.+h (все)
Н.Н. Леденцов, Дж.А. Лотт «Новое поколение вертикально-излучающих лазеров как ключевой элемент компьютерно-коммуникационной эры» 181 884–890 (2011)
42.62.−b, 42.82.−m, 85.40.−e (все)
А.И. Воробьева «Электродные системы к углеродным нанотрубкам и методы их изготовления» 179 243–253 (2009)
73.63.Fg, 85.35.Kt, 85.40.−e (все)
В.Б. Тимофеев «Современное состояние технологии и материаловедения полупроводникового кремния» 160 (6) 168–170 (1990)
01.30.Vv, 85.40.−e, 81.10.−h, 81.15.−z (все)
М.И. Елинсон «Проблемы функциональной микроэлектроники» 109 764–765 (1973)
85.40.−e, 85.30.−z (все)
К.А. Валиев «Современная полупроводниковая микроэлектроника и перспективы ее развития» 109 765–768 (1973)
85.40.−e, 85.30.−z, 73.40.Kp, 73.40.Lq (все)
А.М. Кугушев «Радиоэлектроника» 67 663–703 (1959)
84.40.Ua, 41.20.Jb, 85.40.−e, 84.40.Xb (все)

Указатель PACS