Проведён обзор работ, посвящённых созданию и применению апериодических многослойных структур — оптических элементов мягкого рентгеновского (МР) диапазона электромагнитного спектра (длина волны λ ≈ 4—40 нм). Обсуждаются возможности апериодических многослойных структур (апериодических многослойных зеркал) с точки зрения отражения МР-излучения в широком диапазоне длин волн, прежде всего при нормальном падении излучения, а также их возможности как поляризационных элементов (широкополосных зеркал-поляризаторов, фазосдвигающих элементов). Представлены результаты многопараметрических оптимизационных расчётов и экспериментальные результаты для апериодических многослойных зеркал на основе пары Mo/Si (λ ⩾ 12.5 нм), обсуждаются возможности продвижения в область λ ⩽ 12.5 нм благодаря использованию других материалов, а также возможности апериодических структур как элементов аттосекундной оптики МР-диапазона.

Ключевые слова: оптика мягкого рентгеновского/вакуумного ультрафиолетового диапазона, апериодические многослойные структуры, широкополосные многослойные зеркала, поляризационная оптика, элементы аттосекундной оптики, изображающие спектрометры PACS: 07.60.−j, 42.30.−d, 42.79.−e (все) DOI: 10.3367/UFNr.0185.201511e.1203 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2015/11/e/ 000369654900004 2015PhyU...58.1095P Цитата: Пирожков А С, Рагозин Е Н "Апериодические многослойные структуры в оптике мягкого рентгеновского излучения" УФН 185 1203–1214 (2015) BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks Поступила: 25 августа 2015, одобрена в печать: 8 сентября 2015 English citation: Pirozhkov A S, Ragozin E N “Aperiodic multilayer structures in soft X-ray optics” Phys. Usp. 58 1095–1105 (2015); DOI: 10.3367/UFNe.0185.201511e.1203